±èÁßÁ¶ ¼º¿ø¿¡µå¿öµå ȸÀåÀÌ ÃÖ±Ù °³ÃÖµÈ ¾ÆÀ̼¼µ¦½º2006¿¡¼­ TFT-LCD °øÁ¤°ú ºü¸¥ ¹è±â Ư¼ºÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ ÀåºñÀÇ ¸®µå¶ô è¹ö¿ë °Ç½Ä Áø°ø ÆßÇÁ·Î ¹ÝµµÃ¼±â¼ú´ë»ó ±¹¹«ÃѸ®»óÀ» ¼ö»óÇß´Ù.

°Ç½Ä Áø°øÆßÇÁ´Â ¹ÝµµÃ¼¤ýLCD °øÁ¤¿ë ·Îµå·Ï(loadlock) è¹ö¿¡ Àû¿ëµÇ´Â Á¦Ç°À¸·Î ½Ã°£´ç 400§© ÀÌ»óÀÇ ´ë¿ë·® 󸮰¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ Á¦Ç°Àº »óÅ ÀÚ±âÁø´Ü ¿¹Áö±â´É(predictive monitoring function)°ú ÇÔ²², ÃÖ´ë 16´ë±îÁö ºÎ½ºÅÍÆßÇÁ¿Í °Ç½ÄÆßÇÁ¸¦ Á¦¾îÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ´Ù.

ÀÌ ¹Û¿¡ ºÎ½ºÅÍÆßÇÁ¿Í °Ç½Ä Áø°øÆßÇÁ¸¦ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î ¼³Ä¡ÇÏ´Â ¸ðµâ ¹æ½ÄÀ¸·Î Áø°ø½Ã½ºÅÛÀ» °¡º¯ÀûÀ¸·Î ¼³Ä¡ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ªÀº ¹è±â½Ã°£À» ±¸ÇöÇÔÀ¸·Î½á ÀåºñÀÇ »ý»ê¼º Áõ´ë¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

À̸¦ ÅëÇØ ÇöÀç ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Â ½ºÅ©·çÆßÇÁ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÀÔ ´ëü È¿°ú¿Í ÇÔ²² ±¹³» ¾ç»êÀ» ÅëÇÑ ±âÃÊ ±â¼ú È®º¸·Î ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¤ýLCD °øÁ¤¿ë Áø°øÆßÇÁ ±â¼ú ¼öÁØÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Âµ¥ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â Æò°¡´Ù.

ÇÑÆí ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD¿ë Áø°øÆßÇÁ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â ¾à 1Á¶¿ø, ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2,000¾ï¿øÀ¸·Î Ãß»êµÈ´Ù.

Ǫ¸£µ§¼ÈÁõ±ÇÀº 20ÀÏ ¿¤¿ÀƼº£Å¨(083310)¿¡ ´ëÇØ LCD Æгξ÷ü¿¡ ´ëÇÑ ³³Ç°¿©ºÎ°¡ Ãß°¡ ¼ºÀå ¸ð¸àÅÒÀÌ µÉ °ÍÀ̶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.

´ÙÀ½Àº Á¦ÁÖ Çª¸£µ§¼È IRÄÁÆÛ·±½º ³»¿ëÀÌ´Ù.

¡Þ¿¤¿ÀƼº£Å¨

- ¹ÝµµÃ¼¿ë Áø°øÆßÇÁ Á¦Á¶¾÷ü

¿¤¿ÀƼº£Å¨Àº ±¹³» À¯ÀÏÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿ë Áø°øÆßÇÁ Á¦Á¶¾÷ü·Î 05³â 10¿ù ÄÚ½º´Ú¿¡ µî·ÏµÇ¾ú´Ù. 2002³â µ¶ÀÏÀÇ Leybold Vaccum»çÀÇ °Ç½ÄÁø°øÆßÇÁ »ç¾÷ºÎ¹®À» ÀμöÇÏ¿© ¼³¸³µÇ¾úÀ¸¸ç, ȸÀüÀÚ ÇüÅÂ(Screw Type)ÀÇ Áø°øÆßÇÁ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ´ëºÎºÐÀÌ Áø°ø»óÅ¿¡¼­ ÀÌ·ç¾îÁö±â ¶§¹®¿¡, ¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñÅõÀڽà Áø°ø ÆßÇÁ ¼ö¿ä°¡ ¹ß»ýÇÑ´Ù.

300mm 2¸¸ 5õ¸Å ¹ÝµµÃ¼ fab 1°³¸¦ °Ç¼³ÇÒ °æ¿ì °Ç½ÄÁø°øÆßÇÁ°¡ 1,237´ë°¡ ¼Ò¿äµÇ¸é Æò±Õ´Ü°¡ 3,500¸¸¿øÀ» °í·ÁÇÒ ¶§, 400¾ï¿ø Á¤µµÀÇ ½ÃÀåÀÌ Çü¼ºµÈ´Ù. 10¸¸¸Å°¡ µÉ °æ¿ì ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2,000¾ï¿øÀ¸·Î Ãß»êµÈ´Ù. Áø°øÆßÇÁÀÇ °æ¿ì 5~7³â ÁÖ±â·Î ±³Ã¼°¡ ÇÊ¿äÇÏ°í, 1³â¿¡ 1~2ȸ Á¤µµÀÇ ÁÖ±âÀûÀÎ ¼ö¼±-À¯Áö º¸¼ö°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

- 2005³â ½ÃÀå Á¤Ã¼, 2006³â ¸ÅÃâ ¸ñÇ¥ ´Þ¼ºÀº ¹«³­ÇÒ °ÍÀ¸·Î ȸ»çÃøÀº Àü¸Á

2005³â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Áø°øÆßÇÁ ³³Ç° Á¡À¯À²À» »ìÆ캸¸é BOC Edward(¼º¿ø¿¡µå¿öµå, ¿µ±¹), Alcatel(¾ËÄ«ÅÚÁø°øÄÚ¸®¾Æ, ÇÁ¶û½º), ¿¤¿ÀƼº£Å¨ 3»ç°¡ °úÁ¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. 05³âÀÇ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñÅõÀÚ ±Ô¸ð°¡ 04³â ¼öÁØÀÎ 9Á¶¿ø¿¡ ¸Ó¹°¸é¼­, Áø°øÆßÇÁ½ÃÀåµµ Á¤Ã¼µÇ¾ú´Ù. ±×·¯³ª, ¿¤¿ÀƼº£Å¨ÀÇ CEO´Â ÇöÀçÀÇ ½ÇÀû ÃßÀ̸¦ º¼ ¶§, 2006³â 447¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ ¸ñÇ¥ ´Þ¼ºÀÌ ¹«³­ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¹àÇû´Ù.

- ȯÀ² º¯µ¿¿¡ µû¸¥ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü ¿µÇâ °í·Á ÇÊ¿ä

¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀº 13% ¼öÁØÀ¸·Î 2004³â ÀÌÈÄ Á¤Ã¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â °æÀï¾÷üµéÀÌ ¿µ±¹-ÇÁ¶û½º ¾÷üÀ̱⠶§¹®¿¡ ȯÀ²ÀÌ Ç϶ôÇÒ °æ¿ì °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» º¸À¯ÇÏ°Ô °®°ÔµÇ¾î, ¿¤¿ÀƼº£Å¨ÀÇ ÆßÇÁ ´Ü°¡ÀÎÇÏ ¾Ð·ÂÀÌ °¡ÁߵǾú±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. µû¶ó¼­, ȯÀ² »ó½Â½Ã °æÀï¾÷ü ´ëºñ °¡°Ý °æÀï·Â¿¡ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ÁÙ Àü¸ÁÀ̸ç, Ãß°¡ÀûÀÎ ´Ü°¡ ÀÎÇÏ ¾Ð·Âµµ °æ°¨µÉ ¼ö ÀÖ´Ù.

-LCD Æгξ÷ü¿¡ ´ëÇÑ ³³Ç° ¿©ºÎ°¡ Ãß°¡ ¼ºÀå ¸ð¸àÅÒ

ÇâÈÄ Ãß°¡ÀûÀÎ ¼ºÀå ¸ð¸àÅÒÀº LCD ÆгÎÁ¦Á¶¾÷ü ¼³ºñÅõÀÚ ÁøÇà½Ã µ¿»çÀÇ Áø°øÆßÇÁ ³³Ç° °¡´É ¿©ºÎ¿¡ ´Þ·ÁÀÖ´Ù. LCD ÀåºñÀÇ °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú À¯»çÇÏ¿©, ÆßÇÁ ¼ö¿ä°¡ ÇÊ¿äÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ÇöÀç´Â Dura Dry 255¸ðµ¨À» °³¹ß ¿Ï·áÇÏ¿©, LCD °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÃÖÀûÈ­¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ȸ»çÃøÀº 06³â 4ºÐ±âºÎÅÍ ¸ÅÃ⠹߻ýÀ» ¿¹»óÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, 07³â¿¡´Â Àüü ¸ÅÃâÀÇ 15% ¼öÁØ¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¼º¿ø¿¡µå¿öµå(´ëÇ¥ ±èÁßÁ¶¡¤»çÁø http://www.songwonedwards.com)°¡ ¸ðȸ»çÀÎ ¿µ±¹ BOC¿¡µå¿öµåÀÇ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë Áø°øÆßÇÁ ¶óÀÎÀ» ÀÌ°ü, º»°ÝÀûÀÎ ±¹³» »ý»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù°í 10ÀÏ ¹àÇû´Ù.

¡¡ÀÌ È¸»ç´Â Áö³­ÇØ ¸» ¼¼°è Á¤»óÀÇ Áø°øÆßÇÁ »ý»ê¾÷üÀÎ BOC¿¡µå¿öµåÀÇ Áø°øÆßÇÁ 1°³ »ý»ê¶óÀÎÀ» Ãæ³² õ¾ÈÀÇ ÀÚ»ç Á¦2°øÀåÀ¸·Î ÀÌÀüÇß´Ù. ±Û·Î¹ú ºÎÇ° ¼Ò½Ì ¹× ÁÖ¹®¹ßÁÖ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¼³Ä¡ ÀÛ¾÷µµ ¸¶¹«¸®, ÃÖ±Ù º»°Ý »ý»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó Áø°øÆßÇÁ »ç¾÷ÀÌ ±âÁ¸ÀÇ ¼ö¸®¡¤Á¶¸³ Á߽ɿ¡¼­ ÇöÁö »ý»êüÁ¦·Î ÀüȯµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

¡¡BOC¿¡µå¿öµå´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå¿¡ ´ëÀÀ, ±¹³» »ý»ê±â¹ÝÀ» È®´ëÇÏ´Â ÇÑÆí ¼º¿ø¿¡µå¿öµå¸¦ º»»ç Áø°øÆßÇÁÀÇ ±Û·Î¹ú »ý»ê±âÁö·Î À°¼ºÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù. ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ 300§® ¿þÀÌÆÛ³ª 7¼¼´ë LCDÀÇ µîÀåÀ¸·Î »ý»ê¶óÀΰú °ü·Ã Àåºñ°¡ ´ëÇüÈ­µÇ¸é¼­ Áø°øÆßÇÁµµ ÇÔ²² ´ëÇüÈ­, ¹°·ùºñ µîÀ» °í·ÁÇØ ÇöÁö ´ëÀÀÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ´Ù°í ȸ»ç ÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.

¡¡±èÁßÁ¶ ȸÀåÀº ¡°20³â ÀÌ»ó ½×¾Æ¿Â Áø°øÆßÇÁ ºÐ¾ß ±â¼ú·Â°ú ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀåÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áø°øÆßÇÁ »ý»ê¶óÀÎÀ» ÀÌ°üÇÏ°Ô µÆ´Ù¡±¸ç ¡°1À§ ÀÚ¸® ¼ö¼º¿¡ ÁÖ·ÂÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

¡¡Áø°øÆßÇÁ´Â ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD Àü °øÁ¤ÀÌ ÀÌ·ïÁö´Â Áø°ø ÀÛ¾÷ ȯ°æÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â ÇÙ½É Àåºñ·Î ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2000¾ï¿øÀ¸·Î Ãß»êµÈ´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØ°ú ÀϺ» °¡½Ã¾ß¸¶ÀÇ ÇÕÀÛ»çÀÎ ÄÉÀÌÄÉÀÌÅ×Å©, ÇÁ¶û½º°èÀÇ ¾ËÄ«ÅÚÁø°øÄÚ¸®¾Æµµ Çѱ¹À» ¼¼°è ½ÃÀåÀ» °Ü³ÉÇÑ »ý»ê ±âÁö·Î À°¼ºÇÑ´Ù´Â °èȹÀ» ¹àÈ÷´Â µî ÃÖ±Ù ±¹³» Áø°øÆßÇÁ ½ÃÀå¿¡ ´ëÇÑ ÇØ¿Ü Àü¹® ¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ°¡ ÀÕµû¸£°í ÀÖ´Ù.
ÇѼ¼Èñ±âÀÚ@ÀüÀڽŹ®, hahn@etnews.co.kr

¡Û ½Å¹®°ÔÀçÀÏÀÚ : 2006/04/11    

¹ÝµµÃ¼ Áø°øÆßÇÁ ½ÃÀå ±¹³»¿Ü±â¾÷ °æÀï Á¡È­
[µðÁöÅПÀÓ½º 2006-03-31 11:08]
±¤°í
ÄÉÀÌÄÉÀÌÅ×Å© 10¿ù ¡®°Ç½Ä¡¯¾ç»ê Âø¼ö

¿¤¿ÀƼº£Å¨¤ý¼º¿ø µî ¿µ¿ªÈ®´ë ¹ÚÂ÷

2000¾ï¿ø ±Ô¸ð·Î Çü¼ºµÈ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¤ýLCD °øÁ¤¿ë Áø°øÆßÇÁ ½ÃÀåÀ» µÎ°í ±¹³»¿Ü ±â¾÷µé°£ °æÀïÀÌ º»°ÝÈ­ÇÏ°í ÀÖ¾î ÁÖ¸ñµÈ´Ù.

30ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÄÉÀÌÄÉÀÌÅ×Å©¤ý¿¤¿ÀƼº£Å¨¤ýÇѱ¹¾Ë¹ÚÅ©¶óÀÌ¿À¤ý¼º¿ø¿¡µå¿öµå µîÀº ±¹³» »ç¾÷ÀåÀ» ½Å±Ô¤ýÃß°¡·Î °Ç¼³ÇÏ´Â ÇÑÆí, Áø°øÆßÇÁ Àû¿ë¹üÀ§¸¦ È®´ëÇÏ´Â µî ±¹³»½ÃÀå Á¡À¯À² È®´ë¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù.

¹ÝµµÃ¼¤ýLCD °øÁ¤¿ë Áø°øÆßÇÁ´Â °Ç½Ä(dry)ÆßÇÁ¤ý³Ã°¢(cryo)ÆßÇÁ¤ýÅͺ¸(turbo)ÆßÇÁ µîÀ¸·Î ³ª´µ¸ç, ÀÌ °¡¿îµ¥ °Ç½ÄÆßÇÁ°¡ Àüü ½ÃÀåÀÇ 60% °¡·®À» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î 1Á¶¿ø ¹× ±¹³» 2000¾ï¿ø ±Ô¸ð·Î Çü¼ºµÈ Áø°øÆßÇÁ ½ÃÀåÀº ¿µ±¹ BOC¿¡µå¿öµå¿Í ÀϺ» Ä«½Ã¾ß¸¶¤ý¾Ë¹ÚÅ©¶óÀÌ¿À, µ¶ÀÏ ¶óÀ̺¼Æ®º£Å¨ µîÀÌ ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÄÉÀ̾¾ÅØ(°øµ¿´ëÇ¥ °í¼®Å¤ýÀ̼øâ)°ú ÀϺ» Ä«½Ã¾ß¸¶ÀÇ ÇÕÀÛ»ç·Î ÃÖ±Ù Ãâ¹üÇÑ ÄÉÀÌÄÉÀÌÅ×Å©(´ëÇ¥ ¹é½Å±â)´Â ÁÖ·ÂÀÎ LCD °øÁ¤¿ë °Ç½ÄÆßÇÁ¿¡ ÀÌ¾î ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®À¸·Î »ç¾÷À» È®´ë, ¿Ã 2009³â 500¾ï¿ø ¸ÅÃâÀ» ¸ñÇ¥·Î º»°ÝÀûÀÎ ½ÃÀå ÁøÀÔ¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù.

ÄÉÀ̾¾ÅØ°ú ÀϺ» Ä«½Ã¾ß¸¶°¡ °¢°¢ 40%¤ý60% ÁöºÐÀ» º¸À¯ÇÑ ÀÌ È¸»ç´Â ¿Ã 5¿ù °æ±â ¾È¼º¿¡ 1000Æò ±Ô¸ðÀÇ »ç¾÷Àå Âø°ø¿¡ µé¾î°¡ ¿Ã 10¿ùºÎÅÍ °Ç½ÄÆßÇÁ ¾ç»ê¿¡ Âø¼öÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÀÌ È¸»ç ¹é½Å±â »çÀåÀº "ÇâÈÄ Ä«½Ã¾ß¸¶ÀÇ ÀϺ» ÇöÁö »ý»ê±âÁö¸¦ ¿Å°Ü¿À´Â ¼öÁØÀ¸·Î ±Ô¸ð¸¦ È®´ëÇÒ °èȹ"À̶ó¸ç "±¹³» ºÎÇ°±â¾÷µé°ú °øµ¿°³¹ßÀ» ÅëÇØ ·ÎÅͤýÄÉÀ̤̽ý¸ðÅÍ µî Áø°øÆßÇÁ¿¡ µé¾î°¡´Â ºÎÇ° Àü·®À» ±¹»êÈ­ÇÒ ¹æħ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

¿¤¿ÀƼº£Å¨(´ëÇ¥ ¿ÀÈï½Ä)Àº ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ °Ç½ÄÆßÇÁ¿¡ ÀÌ¾î ´ëÇü LCD °øÁ¤¿ë °Ç½ÄÆßÇÁ ºÎ¹®¿¡ ½Å±Ô ÁøÃâÇÑ´Ù.

µ¶ÀÏ ¶óÀ̺¼Æ®º£Å¨À¸·ÎºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ °Ç½ÄÆßÇÁ »ç¾÷ºÎ¸¦ ÀμöÇØ ¼³¸³µÈ ÀÌ È¸»ç´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ Áø°øÆßÇÁ »ç¾÷À» º»°ÝÈ­Çϱâ À§ÇØ Áö³­ÇØ Ãæ³² õ¾È¿¡¼­ °æ±â ¾È¼ºÀ¸·Î º»»ç¸¦ È®Àå¤ýÀÌÀüÇß´Ù. ȸ»ç ÃøÀº ÇöÀç ±¹³» LCD ÆгΠÁ¦Á¶»ç¿Í °Ç½ÄÆßÇÁ ¾ç»êÀû¿ë Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇà ÁßÀ̸ç, ¿Ã ÇϹݱâÁß ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë °¡¾Ð(blower)ÆßÇÁµµ ½Å±Ô Ãâ½ÃÅ°·Î ÇÏ´Â µî ¿µ¿ªÈ®´ë¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¸»Çß´Ù.

¶ÇÇÑ Çѱ¹¾Ë¹ÚÅ©¶óÀÌ¿À(´ëÇ¥ ÈÄ·ç¾ß ½ÅÁö)´Â 600¸¸´Þ·¯¸¦ ÅõÀÔ, Áö³­ÇØ ¸» °æ±â ÆòÅà Çö°î¿¡ Á¦Á¶»ç¾÷ÀåÀ» °Ç¼³ÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼¤ýLCD °øÁ¤¿ë ³Ã°¢ÆßÇÁ ¾ç»ê¿¡ Âø¼öÇß´Ù. ÀÌ ¹Û¿¡µµ ¿µ±¹ BOC±×·ìÀÇ ±¹³» ÀÚȸ»çÀÎ ¼º¿ø¿¡µå¿öµå´Â ¹ÝµµÃ¼ Áø°øÆßÇÁ¿¡¼­ LCD ºÎ¹®À¸·Î »ç¾÷À» È®´ëÇϱâ À§ÇØ, Áö³­ÇØ Ãæ³² õ¾È¿¡ ´ëÇü °Ç½Ä¤ýÅͺ¸ÆßÇÁ »ý»êÀ» À§ÇÑ Á¦2»ç¾÷ÀåÀ» °Ç¼³ÇÏ´Â µî ¿Ü±¹°è ±â¾÷µéÀÇ ¿òÁ÷ÀÓµµ È°¹ßÇØÁö°í ÀÖ´Ù.

°­°æ·¡±âÀÚ@µðÁöÅПÀÓ½º