2007.5.20

ÅõÀÚº¹±â-ºÐ¼®½ÇÆÐ

1.È¿¼º µîÀÇ Áõ¼³·Î ÀÎÇÏ¿© ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀÌ ¾ÕÀ¸·Î ¶³¾îÁú °ÍÀ̶ó »ý°¢ÇßÀ¸³ª
½ÇÁ¦ °¡µ¿±îÁöÀÇ ½Ã°£Â÷·Î ÀÎÇÏ¿© ¸ÅÃâ¾×µµ ´Ã°í ÀÌÀ͵µ ´Ã¾î³². ´Ü±âÀû eps »ó½Â.

2. ¸ðȸ»çÀÎ µ¿¾çÁ¦Ã¶¿¡ ´ëÇÏ¿© Á¯Çô °øºÎ¸¦ ¾ÈÇß½¿.

½ÃÃÑ 2,720¾ï ÇöÀç°¡ 30,000¿ø. PBR 3.2

==============================================================
»ïºÒÈ­Áú¼Ò´Â ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼³ª LCD ¸¶ÀÌÅ©·Î ȸ·Î¸¦ ¼¼Ã´ÇÏ´Â ¼¼Á¤Á¦ÀÔ´Ï´Ù.

¼¼Á¤°¡½º¶ó°í º¸´Â°Ô ´õ Á¤È®ÇÏ·Á³ª -_-??

 

½Å¼ÒÁ¦Áß ÇϳªÀ̱¸¿ä.

 

¾Ï¸ð´Ï¾Æ¿Í ºÒ¼Ò(¼øµµ°¡ ³ôÀº Á¤Á¦µÈ ºÒ¼Ò. F2 »ç¿ë)

ÀÌ µÎ°¡Áö¸¦ °í¿Â°í¾ÐÀÇ ¹ÝÀÀÀ» ÅëÇØ ¾òÀº »ïºÒÈ­Áú¼Ò °¡½º¸¦ Á¤Á¦½ÃÄѼ­

¼øµµ¸¦ ³ô¿©¼­ ¾ò½À´Ï´Ù.

LCD À¯¸®±âÆÇ ¹× ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø°úÁ¤¿¡¼­ ±Ô¼Ò°è Àܻ繰À» ¼¼Á¤Çϴµ¥ ¾²ÀÌ´Â Àü±âÀüÀÚ¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ NF3(»ïºÒÈ­Áú¼Ò)¿¡ ´ëÇÑ ½ÃÀåÀÌ ½Å±Ô¾÷üÀÇ µîÀå°ú »ý»ê¼³ºñ Áõ¼³·Î ÀÎÇØ °æÀïÀÌ º»°ÝÈ­ µÇ°í ÀÖ´Ù.

¿ì¼± ±×µ¿¾È ½Ã±â¸¦ ³õ°í º£ÀÏ¿¡ °¡·Á ¼Ò¹®À¸·Î¸¸ ¹«¼ºÇß´ø È¿¼ºÀÇ Æ¯¼ö°¡½º½ÃÀå ÁøÃâ¼³Àº È¿¼ºÀÌ ¿À´Â 2¿ù ¿ï»ê ¿ë¿¬°øÀå¿¡¼­ NF3 º»°Ý»ý»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÑ´Ù´Â »ç½ÇÀÌ È®ÀεǸ鼭 ¾÷°èÀÇ ÃʹÌÀÇ °ü½É»ç°¡ µÇ°í ÀÖ´Ù.

È¿¼ºÀº ±×µ¿¾È 2003³âºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤¿ë NF3 ÀÚü °³¹ßÀ» À§ÇØ ¾È¾ç¼ÒÀç Áß¾Ó¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ °³¹ßÀ» ÃßÁøÇØ ¿Ô´Ù.

ÇöÀç ¿ï»ê ¿ë¿¬°øÀå¿¡ 4¹é¿©¾ï¿øÀ» ÅõÀÔÇØ ¿¬ 4¹é Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3»ý»ê¼³ºñ°¡ ¿Ï°ø´Ü°è¿¡ À̸£·¯ À̸£¸é ¿À´Â 2¿ùºÎÅÍ NF3¸¦ º»°ÝÀûÀ¸·Î »ý»êÇÏ´Â È¿¼ºÀº ´Ü¼û¿¡ NF3½ÃÀå ¼±µÎÀÎ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç¿¡ µÚ¸¦ ÀÌÀ» Á¤µµÀÇ »ý»ê¼³ºñ ±Ô¸ð¸¦ ÀÚ¶ûÇÏ°Ô µÆ´Ù.

ÇÏÁö¸¸ ½ÃÀå ¼±µÎÀÎ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç ¶ÇÇÑ ÇöÀç ¿¬ 9¹é Åæ ±Ô¸ðÀÇ »ý»êüÁ¦¿¡¼­ Áö³­´Þ 4¹é ÅæÀ» Ãß°¡ÇÑ Áõ¼³°ø»ç°¡ ¿Ï·áµÅ ¿ÃÇغÎÅÍ ¿¬»ê 1õ3¹é ÅæÀÇ NF3¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÅ °æÀïÀ» °¡¼ÓÈ­ ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¾Æ¿ï·¯ 3¹é Åæ Ãß°¡ Áõ¼³ °ø»ç ¶ÇÇÑ ¿¹Á¤´ë·Î ÁøÇàÁßÀÌ¿©¼­ ¿Ã »ó¹Ý±â¿¡´Â 1õ7¹é Åæ, 2008³â±îÁö 2õ5¹é ÅæÀÇ »ý»ê½Ã¼³À» °®Ãâ ¿¹Á¤À¸·Î ½ÃÀå ¼±µÎ¸¦ ±»°ÇÈ÷ ÁöŲ´Ù´Â ¹æ¾ÈÀÌ´Ù.

È¿¼ºÀÇ ½ÃÀå ÁøÃâ ¼³·Î ±×µ¿¾È ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç¿Í ±¹³» NF3½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÑ ¿ï»êÈ­ÇÐ ¿ª½Ã ÇöÇà 1¹é50Åæ ±Ô¸ðÀÇ »ý»ê½Ã¼³À» Á¶¸¸°£ 3¹é ¿© Åæ »ý»ê½Ã¼³·Î Áõ¼³ÀÌ ¿Ï·áµÇ°í 2008³â±îÁö 6¹é¿© ÅæÀÇ »ý»ê¼³ºñ¸¦ °®Ãâ ¿¹Á¤À¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

ÇÑÆí »ï¼º ¹× LG µîÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD »ý»ê ½Ã¼³ È®ÃæÀ¸·Î ÀÎÇØ ¾Æ½Ã¾Æ¿¡¼­ ÁÖ¿ä Ư¼ö°¡½º ½ÃÀåÀ¸·Î ¶°¿À¸¥ Çѱ¹À» °Ü³ÉÇØ ¼¼°èÀûÀÎ »ê¾÷¿ë°¡½º Á¦Á¶È¸»çÀÎ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®µµ ÃÖ±Ù ¿ï»ê ¹ÌÆ÷±¹°¡»ê¾÷´ÜÁö¿¡ 5õ¸¸ ´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇØ ¿¬»ê 5¹é Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3 »ý»ê°øÀåÀ» ¿À´Â 2008³â »ó¹Ý±â¿¡ ¿Ï°øÇÒ ¿¹Á¤À¸·Î ÀüÇØÁ® ±¹³» NF3½ÃÀåÀÇ Å« Áö°¢º¯µ¿À» ¿¹°íÇÏ°í ÀÖ´Ù.

[ÄÚ½º´Ú¸íÇ°À» ã¾Æ¼­]<1>Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷ü ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç-07.1µ¿¾ÆÀϺ¸



1996³â 7¿ù ¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀÌ Å« Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ ÀÚ±Ý Áö¿øÀ» À§ÇØ ÀÇ¿åÀûÀ¸·Î Ãâ¹üÇÑ ÄÚ½º´ÚÁõ±Ç½ÃÀå. ±×·¯³ª ¡®´ë¹Ú½É¸®¡¯¿Í Åõ±â¼¼·Â, µµ´öÀû ÇØÀÌ¿¡ ºüÁø ÀϺΠ°æ¿µÀÚ ¶§¹®¿¡ ÄÚ½º´Ú½ÃÀåÀÇ ½Å·Ú´Â ¸¹ÀÌ Ã߶ôÇß´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ °¡¿îµ¥µµ °Ç½ÇÇÏ°í À¯¸ÁÇÑ ±â¾÷Àº ÀûÁö ¾Ê´Ù.

»õÇظ¦ ¸Â¾Æ º»º¸ °æÁ¦ºÎ´Â Çѱ¹Áõ±Ç¼±¹°°Å·¡¼Ò¿Í ÇÔ²² ¡®ÀÏ·ù ÄÚ½º´Ú ¸íÇ°(Ù£ù¡)±â¾÷¡¯¿¡ µµÀüÇÏ´Â À¯¸Á ÄÚ½º´Ú¾÷ü¸¦ ¹ß±¼ÇØ ¼Ò°³ÇÏ´Â ½Ã¸®Á ¸ÅÁÖ ¼ö¿äÀÏ ¿¬ÀçÇÑ´Ù. ¸ðÇèÁ¤½ÅÀ¸·Î ¶Ê¶Ê ¹¶Ä£ ÀÌµé ¾÷ü°¡ À§ÃàµÈ ÄÚ½º´Ú½ÃÀå¿¡ È°±â¸¦ ºÒ¾î³Ö±æ ±â´ëÇÑ´Ù.

¼¼¹ØÀ» ¾ÕµÐ Áö³­ÇØ 12¿ù 27ÀÏ.

·¹¹ÌÄÜ Â÷·® ¼­³Ê ´ë°¡ °æºÏ ¿µÁֽà »óÁÙµ¿ÀÇ ÇÑÀûÇÑ Àλï¹ç »çÀÌ ±æÀ» ºÐÁÖÈ÷ ¿À°í°¬´Ù. ÀÌ°÷¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ¹ÝµµÃ¼ ¿ø·á¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü ¡®¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀ硯°¡ ¿ÃÇØ 6¿ùÀ» ¸ñÇ¥·Î ¼¼°è ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ °øÀåÀ» Áõ¼³ÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù.

ÀÌ È¸»ç´Â Áö³­ÇØ °øÀå È®Àå¿¡¸¸ ¸ÅÃâ¾×(630¾ï ¿ø)ÀÇ Àý¹ÝÀÌ ÈξÀ ³Ñ´Â 400¾ï ¿øÀ» ÅõÀÚÇß´Ù. ÇÏÁö¸¸ º°·Î ³î¶ó¿î Àϵµ ¾Æ´Ï´Ù. ÃÖ±Ù 5³â Æò±Õ ¸ÅÃâÀÇ 78%¸¦ ¼³ºñÅõÀÚ¿¡ ½ñ¾Æ ºÎ¾ú´Ù. ¡®¼¼°è ÃÖ°íÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶»ç¡¯¶ó´Â ²Þ¿¡ ÇÑ °ÉÀ½ ´Ù°¡¼­±â À§Çؼ­¿´´Ù.

¡Û ¼ºÀ强 ã¾Æ »õ ȸ»ç·Î Å»¹Ù²Þ


1982³â ¼³¸³µÈ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â 5³â Àü¸¸ Çصµ TV ºê¶ó¿î°ü¿ë ¿¬¸¶Á¦ Á¦Á¶È¸»ç¿´´Ù.

ÇÏÁö¸¸ 1990³â´ë µé¾î Áß±¹ ¾÷üÀÇ Ãß°ÝÀÌ º»°ÝÈ­µÇ°í ºê¶ó¿î°ü¸¶Àú »ç¾ç±æ·Î Á¢¾îµéÀÚ À§±â¸¦ °¨ÁöÇß´Ù.

ÇÏ¿µÈ¯ ´ëÇ¥ÀÌ»ç »çÀåÀº ¡°¿¬¸¶Àç·Î´Â 10³â µÚ ȸ»çÀÇ Á¸¸³µµ ¾î·Æ´Ù´Â ÆÇ´Ü¿¡¼­ »õ »ç¾÷À» ã¾Ò´Ù¡±¸ç ¡°ÀüÀÚ¾÷Á¾¿¡ ³³Ç°Çϸ鼭 ¹ÝµµÃ¼ ¿ø·á¿ë Ư¼ö°¡½º¿¡ ¹Ì¸® ´«¶á °Ô ÁÖÈ¿Çß´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

ÀÌ È¸»ç´Â 1996³â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ºÒÇÊ¿äÇÑ ÀÜÁ¸°¡½º¸¦ Á¦°ÅÇϴ Ư¼ö°¡½ºÀÎ ¡®»ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3)¡¯ÀÇ °³¹ß¿¡ ¶Ù¾îµé¾ú´Ù. 2001³â¿¡´Â ¿¬°£ »ý»ê·® 100t ±Ô¸ðÀÇ ÀÚü °øÀåÀ» º¸À¯ÇÏ°Ô µÆ´Ù.

2001³â ¸ÅÃâ(172¾ï ¿ø)ÀÇ 92%´Â ¿¬¸¶Á¦¿¡¼­ ³ª¿ÔÁö¸¸ ÀÌÈÄ Æ¯¼ö°¡½º´Â Áö³­ÇØ ¸ÅÃâ(630¾ï ¿ø)ÀÇ 93%¸¦ Â÷ÁöÇÒ ¸¸Å­ ¾¦¾¦ ¼ºÀåÇß´Ù.

¡Û ÈÄ¹ß ÁÖÀÚ°¡ ¼¼°è ÀÏ·ù¸¦ ²Þ²Ù´Ù

ÀÌ·± ¼º°ø¿¡´Â ¾î´À °æÀï»çº¸´Ù °ú°¨ÇÑ ÅõÀÚ°¡ Å« ¿ªÇÒÀ» Çß´Ù.

2005³â 600t ±Ô¸ðÀÇ °øÀåÀ» ¿Ï°øÇß°í Áö³­ÇØ 4¿ù¿£ 1600t ±Ô¸ðÀÇ °øÀåÀ» Áþ±â ½ÃÀÛÇß´Ù. 1600t °¡¿îµ¥ 800tÀÌ ¿Ï°øµÇ´Â ¿ÃÇØ 6¿ùÀ̸é ÃÑ»ý»ê·®(1700t)ÀÌ ¼¼°è ÃÖ´ëÀÎ ¹Ì±¹ÀÇ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®(1500t)¸¦ ¾Õ¼±´Ù.

°æÀïÀÌ ½ÉÇØÁö¸é¼­ 5³â ¸¸¿¡ »ïºÒÈ­Áú¼Ò °¡°ÝÀÌ t´ç 4¾ï ¿ø¿¡¼­ 8000¸¸ ¿ø ¼±À¸·Î ¶Ò ¶³¾îÁ³Áö¸¸ ³ôÀº °¡°Ý °æÀï·ÂÀ¸·Î ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü 25%¸¦ À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÇÏ »çÀåÀº ¡°Æ¯¼ö°¡½º´Â ÀåÄ¡»ê¾÷À̾ ¿ø°¡ÀÇ ¾à 30%´Â °øÀå ¼³ºñ¿¡ ´ëÇÑ °¨°¡»ó°¢ºñ¡±¶ó¸ç ¡°°æÀï»çº¸´Ù Àý¹Ý ÀÌ»ó Àú·ÅÇÏ°Ô °øÀåÀ» ÁöÀ» ¼ö ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ¶Ç ±×´Â Á¦Ç° Ç°Áúµµ »ïºÒÈ­Áú¼ÒÀÇ ¼øµµ°¡ Æò±Õ 99.99%¿¡ À̸£´Â µî ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀ̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â Áö³­ÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ ¿¬°£ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â »ïºÒÈ­Áú¼Ò ¹°·®ÀÇ 25%¸¦ °ø±ÞÇß´Ù. ¶Ç Àü ¼¼°è ¼ö¿äÀÇ 16%¸¦ ´ë°í ÀÖ´Ù.

¡Û Áß¼Ò±â¾÷ ÇѰ踦 ³Ñ¾î µµ¾àÀ» ÁغñÇÏ´Ù

ÀÌ È¸»ç´Â Áö³­ÇØ 6¿ù ¹ÝµµÃ¼ ¸·À» Çü¼ºÇϴ Ư¼ö°¡½º ¡®¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4)¡¯ °øÀå ½Å¼³¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹Ì±¹ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®°¡ ±¹³»¿¡ »ïºÒÈ­Áú¼Ò °øÀåÀ» ¼³¸³Çϱâ·Î ÇÏ´Â µî »ïºÒÈ­Áú¼Ò ½ÃÀå °æÀïÀÌ °¥¼ö·Ï °ÝÇØÁö´Â Å¿ÀÌ´Ù.

ȸ»ç ÃøÀº ¡°¸ð³ë½Ç¶õ Á¦Á¶´Â °íµµÀÇ ±â¼ú·ÂÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ºÐ¾ß·Î »õ·Î¿î ¡®Ä³½Ã Ä«¿ì¡¯(±â¾÷ÀÇ µ·ÁÙ) ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù¡±°í Çß´Ù.

ÇÏ »çÀåÀº ¡°Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ ÇѰ踦 ³Ñ±â À§ÇØ 2005³â µ¿¾çÁ¦Ã¶È­Çп¡ ¸ÕÀú °øµ¿ °æ¿µÀ» Á¦ÀÇÇß´Ù¡±¸ç ¡°´ë±â¾÷°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¼¼°è Ư¼ö°¡½º ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇÏ´Â ÀÏ·ù±â¾÷ÀÌ µÇ°Ú´Ù¡±°í ´ÙÁüÇß´Ù.



¿µÁÖ=À̳ª¿¬ ±âÀÚ larosa@donga.com

CVD¿¡¼­ oxide¸¦ ÁõÂøÇÒ¶§ SiH4¿Í N2O¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.

ÀÌ µÎ °¡½º°¡ plasma¿¡ ÀÇÇØ ÀüÀÚ Ãæµ¹·Î Çظ®µÇ°í °áÇÕÇÏ¿© oxide ¸·ÁúÀÌ ÁõÂøµÇ´Âµ¥¿ä.

1. À̶§ µÎ °¡½ºÀÇ Çظ®¿¡³ÊÁö¿Í °áÇÕ¿¡³ÊÁö°¡ ¾ó¸¶ÀÎÁö ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù.

SiH4, SiH3, SiH2, SiH °¢°¢¿¡¼­ H¿Í Si°¡ Çظ®µÉ ¶§ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö¿Í,

N2O, NO¿¡¼­ N°ú O°¡ Çظ®µÉ ¶§ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö

Si¿Í O°¡ °áÇÕÇÒ ¶§ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö°¡ ¾ó¸¶ÀÎÁö ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù.

2. º¸Åë oxide ¸·Áú¿¡ ºñÇØ Si-OH ¼ººÐÀÌ ¸¹ÀÌ ÀÖ´Ù¸é

Depo rateÀ̳ª Etch rate, Stress µîÀÇ Ãø¸é¿¡¼­ ¾î¶² Ư¼ºÀ» º¸ÀÌ´ÂÁö ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù

SiH4¸¦ ¸»¾¸ÇϽô °ÍÀ̱º¿ä.

 

¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ¹«Ã´ ÁÁÀº °¡½º·Î

½Ç¸®ÄÜÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ´ëºÎºÐÀÇ CVD(È­Çбâ»óÁõÂø¹ý)ÀÇ ¿ø·á °¡½º·Î »ç¿ëµË´Ï´Ù.

 

¿¹¸¦ µé¾î ½Ç¸®ÄÜÁúÈ­¸·À» Çü¼ºÇÒ ¶§´Â

SiH4¿Í NH3 µîÀ» ÁÖ¿ø·á°¡½º·Î ÇÏ¿© ¹ÝÀÀ½ÃÅ°°í,

±×¿Ü ½Ç¸®ÄÜ»êÈ­¸·À̳ª Æú¸®½Ç¸®Äܸ·ÀÇ Çü¼º¿¡µµ »ç¿ëµË´Ï´Ù.

 

ÀÌ·¸°Ô ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ÁÁ±â ¶§¹®¿¡ ÀÎü¿¡´Â ¹«Ã´ ÇØ·Ó½À´Ï´Ù.

µû¶ó¼­ Ãë±Þ»óÀÇ ÁÖÀÇ°¡ ÇÊ¿äÇÏ°í,

½ÇÇèÀåºñ°¡ ³ëÈÄµÈ Çб³ µî¿¡¼­´Â »ç¿ëÇϱâ Á» ²¨¸®±âµµ ÇÏÁö¿ä.