¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç | ½ºÅ©·¦ 2005/06/23 22:58
http://blog.naver.com/ksj7797/20014079144

¸ð ÈÞ´ëÆù °øÁßÆÄ ±¤°í¸¦ º¸¸é ¡°Is Something New?¡± ¶õ ±¤°í ¹®±¸°¡ ³ª¿Â´Ù. ¾î¶² »õ·Î¿î, ÇÏÁö¸¸ ±× ±âÀú¿¡´Â »õ·Î¿î °Í ÀÌ»óÀÇ Àǹ̰¡ ºÎ¿©µÉ ¶§ º¸Åë ¡°Something¡± À̶õ Ç¥ÇöÀ» ¾²°Ô µÇ´Âµ¥ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â ±×·± ¸é¿¡¼­ ÀûÀýÇÏ°Ô ºÎÇյǴ ȸ»ç´Ù.

 

´ë¹é½Å¼ÒÀç·Î Àß ¾Ë·ÁÁø ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â 1982³â¿¡ ¼³¸³µÇ¾ú´Âµ¥ ¿ø·¡ ´ç½Ã Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø CRT µî ºê¶ó¿î°ü°ú PC ¸ð´ÏÅÍÀÇ Ç¥¸é ¿¬¸¶À縦 Á¦Á¶ÇØ ¿Â ȸ»ç¿´´Ù. ÇÏÁö¸¸ 1990³â ´ë ÈÄ¹Ý µé¾î¼­ ºê¶ó¿î°ü TVÀÇ ¼ºÀåÀÌ ´õ ÀÌ»ó À¯È¿ÇÏÁö ¾Ê´Ù°í ÆÇ´ÜÇØ °ú°¨È÷ °ü·Ã»ç¾÷À» ´ëÆø Ãà¼ÒÇϱ⿡ À̸¥´Ù. ±×¸®°í´Â ±¹³» ´ë±â¾÷µéÁ¶Â÷ ÀüÇô °ü½ÉÀ» µÎÁö ¾Ê¾Ò´ø NF3¶õ Ư¼ö°¡½º °³¹ß¿¡ ÁýÁßÇϸ鼭 ¾Æ¿¹ Áַ¾÷Á¾ ÀÚü¸¦ ¹Ù²Ù¾î¹ö·È´Âµ¥ ±Þ±â¾ß´Â 2004³â 4¿ù¿¡´Â »ç¸í±îÁö ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç·Î ¹Ù²Ù¾ú´Ù. ¡°¼ÒµðÇÁ¡±´Â ¡°Something Different¡±ÀÇ ¾àÀÚ·Î ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç°¡ °É¾î¿Ô´ø 20¿© ³â ¾÷·Â µ¿¾ÈÀÇ ¸ðµç º¯È­¸¦ ÇÔÃàÀûÀ¸·Î ³ªÅ¸³½ °ÍÀÌ´Ù.

 

 

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀº 2001³â 8.9%¸¦ ±âÁ¡À¸·Î °è¼Ó Áõ°¡ÇØ 3³â ¿¬¼ÓÀ¸·Î µÎ ÀÚ¸® ¼öÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀ» º¸À̸鼭 À۳⿡´Â 32.1%±îÁö Áõ°¡Çß´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü º¯È­ÀÇ ½Ã¹ßÁ¡ÀÌ µÈ 2001³âÀº ±¹³» ÃÖÃÊ·Î NF3 Á¦1°øÀåÀ» ÁØ°øÇÑ ½Ã±âÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.

 

±×·¸´Ù¸é NF3°¡ µµ´ëü ¾î¶² ¹°ÁúÀ̱淡 ¼öÀͼºÀÇ ·¹¹ë¾÷±îÁö °¡´ÉÇÏ°Ô ÇßÀ»±î? NF3´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼­ CVD è¹öÀÇ ¼¼Á¤°¡½º·Î ¾²À̴ Ư¼ö°¡½º´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î CVD è¹ö¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ³ª LCD ¿øÆÇÀ» ³Ö°í, Ư¼ö°¡½º¸¦ ÁÖÀÔÇϸé È­ÇйÝÀÀÀÌ ¹ß»ýÇØ Àüµµ¸·ÀÌ Çü¼ºµÇ´Âµ¥ ¹®Á¦´Â ÀÌ Àüµµ¸·ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ³ª LCD ¿øÆǻӸ¸ ¾Æ´Ï¶ó ÃÀ¹ö º®¿¡µµ ¸·ÀÌ »ý°Ü ´ÙÀ½ °øÁ¤À» À§Çؼ­´Â ¡°¹Ýµå

½Ã¡± ±ú²ýÀÌ ¼¼Á¤ÇØÁà¾ß ÇÑ´Ù´Â »ç½ÇÀÌ´Ù. ÀÌ ¶§ ÇÊ¿äÇÑ Æ¯¼ö°¡½º°¡ ¹Ù·Î NF3ÀÎ °ÍÀÌ´Ù.

 

 

ÇÏÁö¸¸ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç°¡ NF3¸¦ ¾ç»êÇϱâ Àü±îÁö¸¸ Çصµ ÀÌ ÂÊ ½ÃÀåÀº ¸ðµÎ Çؿܾ÷ü°¡ ÁÖµµÇÏ´Ù½ÃÇÇÇß´Ù. ¹Ì±¹ÀÇ Air Product¸¦ ºñ·ÔÇØ ÀϺ»ÀÇ °£Å䵧ī °ø¾÷°ú ¹Ì¾²ÀÌ È­ÇÐ µîÀÌ ÁÖ¿ä ¾÷üµéÀε¥ ¾ÆÁ÷±îÁöµµ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÃæºÐÇÑ CAPA°¡ °¡´ÉÇÑ Á¦Á¶¾÷üµéÀº 7°³ ¾÷ü Á¤µµ ¹Û¿¡ ¾È µÅ ¿Ïº®ÇÑ °ø±ÞÀÚ ¿ìÀ§ÀÇ ½ÃÀåÀÌ´Ù.

 

ÇÏÁö¸¸ ¹«¾ùº¸´Ùµµ ÇâÈÄ ¼ºÀ强ÀÌ ¶Ù¾î³­ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD °ü·Ã µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷À» ÃÖÀü¹æ»ê¾÷À¸·Î µÎ¸é¼­ ¹Ýº¹¼Òºñ Á¦Ç°ÀÎ NF3¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â »ç¾÷±¸Á¶°¡ ¸Å·ÂÀûÀÌ´Ù. ¿¬°£ ÇÑ ¶óÀÎ´ç ¼Ò¿äµÇ´Â NF3ÀÇ ¹°·®Àº ¾à 70Åæ¿¡ À̸¥´Ù°í ÇÑ´Ù. ÇѸ¶µð·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD °ü·Ã¾÷üµéÀ» ½Å±Ô °Å·¡Ã³·Î ¶Õ±â¸¸ ÇÏ¸é ´Ü¼øÈ÷ °¡½º¸¸ °ø±ÞÇØÁÖ´Â ´Ü¼øÇÑ ³×Æ®¿öÅ©Çü BMÀÎ °ÍÀÌ´Ù.

 

±× ¿Ü NF3 Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ ¼Ò¿äµÇ´Â ¿øÀÚÀçÀÎ HF¿Í NH3 ±×¸®°í T/P Powder µîÀº ´ëºÎºÐÀÌ ±¹³» Á¶´ÞÀÌ °¡´ÉÇÏ°í, »ý»ê·® ¿ª½Ã dzºÎÇØ ¿ø°¡±¸Á¶¿¡ ±àÁ¤ÀûÀ̶ó´Â Á¡ÀÌ´Ù. À۳⠱âÁØÀ¸·Î Àüü Àç·áºñ Áß ¾à 15% ºñÁ߸¸ Â÷ÁöÇßÀ» »ÓÀÌ´Ù. ³ª¸ÓÁö´Â Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿¬¸¶Àç »ç¾÷ÀÇ ÁÖÀç·áÀÎ Graphite°¡ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ Àüü ¸ÅÃâ¾× ±â¿©´Â NF3°¡ 75.7%, ¿¬¸¶Àç´Â 17.1%¸¦ Â÷ÁöÇØ ¼öÀͱ¸Á¶°¡ °ßÁ¶ÇØÁ³´Ù. 2001³â NF3 Á¦1°øÀå ÁØ°øÀ» °è±â·Î ¿ø°¡À²ÀÌ ±Þ¼ÓÈ÷ °¨¼ÒÇÑ °Íµµ ÀÌ¿Í ¹«°üÇÏÁö ¾Ê´Ù°í º»´Ù.

 

Àü·® Çؿܾ÷ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø NF3ÀÇ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇÑ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ ÆÄ¿ö¸¦ ¿©½ÇÈ÷ º¸¿©ÁØ °Ô ÀÛ³â 4ºÐ±â ¶§´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±¹³»½ÃÀåÀº Á÷¿µÀ¸·Î Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ°í, ÇؿܽÃÀåÀº Áß°£ µµ¸Å»óÀ» ³¢°í Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í Àִµ¥ ÀÛ³â 4ºÐ±â ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ NF3 ÃâÇÏ·®Àº ´ç½Ã ½ÃÀå ¿¹»óÀ» ÇÏȸÇÑ 79Åæ ¼öÁØÀ̾ú´Âµ¥ ÀÌ´Â ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç°¡ 2002³â NF3 ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÑ ÀÌ·¡·Î óÀ½À¸·Î ÀüºÐ±â¿Í ºñ±³ÇßÀ» ¶§ °¨¼ÒÇÑ °ÍÀ̶ó°í ÇÑ´Ù.

 

ÇÏÁö¸¸ ÃâÇÏ·® °¨¼Ò´Â NF3 ´Ü°¡ÀÎÇϸ¦ ¿ä±¸ÇÑ ÇؿܽÃÀå Áß°£µµ¸Å»óÀÇ ¿ä±¸¸¦ °ÅºÎÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀε¥ Áß°£µµ¸Å»óÀ¸·ÎÀÇ ¹°·®À» ´ëÆø Ãà¼ÒÇϸ鼭 ÃâÇÏ·® °¨¼Ò°¡ ºÒ°¡ÇÇÇß´Ù°í ÇÑ´Ù. ´ç½Ã ȯÀ²Ç϶ô°ú ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ÀÇ ½ÇÀû¾ÇÈ­ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ´Ü°¡ÀÎÇÏ ¿ä±¸°¡ »ý±ä °ÍÀÌ´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í Áö³­ 4ºÐ±âÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀº 32.5%·Î ¿ÀÈ÷·Á ÀüºÐ±â ´ëºñ 2.4%°¡ °³¼±µÆ´Ù.

 

 

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â 2001³â NF3 Á¦1°øÀåÀ» ÁØ°øÇÑ µ¥ À̾î 2003³â 5¿ù¿¡´Â NF3 Á¦1°øÀå Áõ¼³ ¹× 2005³â 3¿ù¿¡´Â NF3 Á¦2°øÀåÀ» ÁØ°øÇØ ±âÁ¸ÀÇ CAPA¸¦ 300Åæ¿¡¼­ 900Åæ±îÁö È®ÀåÇß´Ù. ÀÌ´Â ¾÷°è 1À§ÀÎ Air ProductÀÇ 1,900Åæ ´ÙÀ½À¸·Î ¼¼°è 2À§ ¼öÁØÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó Áö¼ÓÀûÀÎ CAPEX°¡ ºÒ±âÇÇÇßÀ¸³ª 2004³â LGÇʸ³½º ÆÄÁÖ°øÀåÀÇ 6¼¼´ë ¶óÀÎ °¡µ¿°ú 2005³â »ï¼ºÀüÀÚ ÅÁÁ¤°øÀåÀÇ 7¼¼´ë ¶óÀÎ °¡µ¿ ±×¸®°í ´ë¸¸¾÷üµéÀÌ ¿ÃÇØ µé¾î 7¼¼´ë ¶óÀο¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ°èȹÀ» ¹ßÇ¥Çϸ鼭 Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ¼ö¿äÁõ°¡°¡ ¿©ÀüÈ÷ ¿¹»óµÅ Áö¼ÓÀûÀÎ CAPEX´Â ¿ÀÈ÷·Á À¯¸®ÇÏ°Ô ÀÛ¿ëÇß´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â ¸ÅÃâ±Ô¸ð Áõ°¡°¡ ¿¹»óµÇ°í, °íÁ¤ºñ ºÎ´ãÀÌ Å©°Ô °¨¼ÒÇØ °ßÁ¶ÇÑ ½ÇÀû±âÁ¶´Â ¿©ÀüÈ÷ À¯È¿ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

 

´õ¿íÀÌ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â NF3»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó WF6 ¹× SiH4 µî ±âŸ Ư¼ö°¡½º¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚµµ º´ÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¹Ì WF6 °øÀåÀº Áö³­ 3¿ù¿¡ ÁØ°øµÈ »óÅ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â WF6¿Í ¹ÝµµÃ¼/LCD °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â SiH4´Â ÇâÈÄ NF3¿¡ ÁýÁßµÈ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ ¸ÅÃâÆ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢È­ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

 

ÇÏÁö¸¸ Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ¸ÂÃç Àü ¼¼°è NF3 Á¦Á¶¾÷üµéÀÇ »ý»ê¼³ºñ Áõ°¡°¡ ´ë±Ô¸ð·Î °è¼ÓµÇ°í ÀÖ¾î ÀÌ¿¡ µû¸¥ °ø±Þ°úÀ×ÀÇ ¿ì·Á°¡ ÀÖ´Â °Íµµ »ç½ÇÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ »óȲ¿¡¼­ Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ±Þ°ÝÇÑ À§ÃàÀ¸·Î ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ü°¡ÀÎÇÏ ¿ä±¸¾Ð·ÂÀº ¿¹Àü°ú °°Áö ¾Ê°Ô °­·ÂÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡Àº Á¡°ËÇغÁ¾ß ÇÒ ¸®½ºÅ©´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÛ³â 2¿ù¿¡ ¹ßÇàÇÑ ¹«º¸Áõ ÇØ¿ÜÀüȯ»çäÀÇ ¹ÌÀüȯµÈ Àüȯ»çä 44¸¸ 3836ÁÖ(¹ßÇàÁÖ½Ä ¼öÀÇ 5.4%)¿Í ½ºÅå¿É¼Ç 39¸¸2000ÁÖ(¹ßÇàÁÖ½Ä ¼öÀÇ 4.8%) µî¿¡ ´ëÇÑ ¹°·®ºÎ´ãÀÌ ¾î´À Á¤µµ ³²¾ÆÀÖ´Ù´Â Á¡µµ °üÂû´ë»óÀÌ µÈ´Ù.

 

¾çµ¿¼± sebian523@hotmail.com

 

2005.06.22 11:49 @ 2005 itooza.com