´ç ±â¾÷ºÐ¼®Àº ¸Å¼öÃßõÀÌ ¾Æ´Ñ ¿¬±¸ Â÷¿øÀÇ ±â¾÷ºÐ¼®ÀÓÀ» ¹àÈ÷¸ç ¼±ÀÇÀÇ ÇÇÇØÀÚ³ª ºÐ¼®º¸°í¿¡ ´ëÇÑ ¿ÀÇØ°¡ ¾øÀ¸¼ÌÀ¸¸é ÇÕ´Ï´Ù.
´ç»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¾÷ü·Î¼ ´ç»ç¿Í À¯»çÇÑ ¾÷Á¾À» °¡Áø ±â¾÷Àº ¿øÀÍÄõÃ÷, ÄÚ¹ÌÄÚ, Ƽ¾¾ÄÉÀÌ°¡ Àִµ¥ ÁÖ°üÀûÀÎ ÆÇ´ÜÀ¸·Î ´ç»çÀÇ ±â¾÷ÀÌ Á»´õ ¸Å·ÂÀûÀ̶ó ÆÇ´ÜÇÏ¿© ´ç ¾÷ü¿¡ ´ëÇÑ ºÐ¼®À» ½Ç½ÃÇØ º¾´Ï´Ù.
´ç»ç´Â 1995³â¿¡ ¼³¸³µÈ ȸ»ç·Î ¹ÝµµÃ¼, LCD ÀåºñÀÇ ¼Ò¸ð¼º Àç·á·Î »ç¿ëµÇ´Â ÆÄÀμ¼¶ó¹Í Àü¹®±â¾÷À¸·Î ¾Ë·ç¹Ì³ª, ½Ç¸®ÄÜ, ÄõÃ÷ µîÀ» Àç·á·Î 7,000¿©Á¾ ÀÌ»óÀÇ °¢Á¾ ÆÄÀμ¼¶ó¹Í °ü·Ã ºÎÇ°À» »ý»êÇÏ´Â ¾÷üÀÔ´Ï´Ù. ÇöÀç ´ç»ç´Â »ï¼ºÀüÀÚ, ÇÏÀ̴нº, LGPLCD, µ¿ºÎ¾Æ³²¹ÝµµÃ¼, ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ, ¿¡À̵ðÇÇ µî °ü·Ã Àåºñ¾÷ü °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç AUO, UMC, ÀϺ»TI, µµ½Ã¹Ù µîÀ¸·Î Á¦Ç°À» °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
´ç»ç´Â ÆÄÀμ¼¶ó¹Í Áß Æ¯È÷ ¾Ë·ç¹Ì³ª ¼¼¶ó¹Í¿¡ °Á¡À» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç ÃÖ±Ù LCD ½ÃÀå°ú 300mm ¿þÀÌÆÛ ÅõÀÚ°¡ ºÎ°¢µÊ¿¡ µû¶ó LCD¶óÀÎ °¡µ¿À² »ó½Â¿¡ µû¸¥ ¹°·®Áõ°¡¿Í ½Å±Ô¶óÀο¡¼ÀÇ ±Û·¡½º ´ëÇüÈ¿¡ ´Ù¸¥ °íºÎ°¡°¡Ä¡È°¡ µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¼Ò¸ð¼º Àç·á ÆǸſʹ °æÀï°ü°è¶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¤¹Ð¼¼Á¤»ç¾÷¿¡ »ç¾÷´Ù°¢È Â÷¿ø¿¡¼ ÁøÃâÇÏ¿© À繫Àû ¾ÈÁ¤¼ºÀ» µµ¸ðÇÏ°íÀÚ ³ë·ÂÁß¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù..
±×·³ °£´ÜÈ÷ ´ç»ç°¡ ¼ÓÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á»ê¾÷ÀÇ Æ¯Â¡°ú ÇöȲ¿¡ ´ëÇØ Àá±ñ ¾ð±ÞÇÏ°Ú½À´Ï´Ù..
< ¹ÝµµÃ¼ Àç·á»ê¾÷ÀÇ Æ¯Â¡ >
1) ¹ÝµµÃ¼ °æ±âÀÇ ¼øȯ¿¡ µû¶ó Àç·á»ê¾÷ÀÇ °æ±âµµ ´Ù¼Ò°£ÀÇ ¿µÇâÀÌ ÀÖÀ¸³ª °èÀýÀû °æ±âº¯µ¿Àº ¹Ì¹ÌÇϸç, »ê¾÷ÀÇ Æ¯¼º»ó ÀÏÁ¤¼öÁØÀÇ »ý»êÀ» Áö¼ÓÇÏ¿©¾ß ÇϹǷΠÀåºñ¾÷ü¿¡ ºñÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ Àç·á»ê¾÷ÀÇ ¸ÅÃâÀº Áö¼ÓÀûÀÌ¸ç ¾ÈÁ¤ÀûÀÓ
2) 2002³âÀÇ °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ °æ±âºÒȲ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ±× ÀÌÈÄ ºñ±³Àû ¼ÒÆøÀÇ ¼ºÀåÀ» À¯Áö.
3) Àåºñ»ê¾÷°ú´Â ´Þ¸® ¼³ºñÅõÀÚº¸´Ù´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê´É·Â°ú °¡µ¿·ü º¯È¿¡ ´õ Å« ¿µÇâÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â »óȲÀ̸ç ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ 300mm¿þÀÌÆÛÀÇ º»°ÝÀû °¡µ¿½ÃÁ¡°ú ÇÏÀ̴нº ¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚÈ®´ë¿Í µ¿ºÎ¾Æ³²¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÅõÀÚÀç°³¿Í °°Àº »óȲ°ú ¸Â¹°·Á Àç·á»ê¾÷ÀÇ ¸ÅÃâµµ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹°ßµÇ¸ç ÀϺδ ÀÌ¹Ì °ü·Ã ¶óÀο¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â »óȲ.
< ¹ÝµµÃ¼ Àç·á»ê¾÷ÀÇ ÇöȲ >
¹ÝµµÃ¼ Àç·á¶õ ĨÀ» Á÷Á¢ ±¸¼ºÇϰųª, ĨÀ» Á¦Á¶Çϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀç ¹× Ä¨À» Á¶¸³ÇÏ¿© ¿Ï¼ºÇ°À» ¸¸µå´Âµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¸ðµç ¼ÒÀ縦 ¸»ÇÑ´Ù.
±×·¯³ª ÀÌ ¼ÒÀ縦 ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ·Î ¿Ï¼º½ÃÅ°´Â µ¥¿¡´Â ¼ö½Ê´Ü°èÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¹°¸®Àû¡¤ÈÇÐÀû 󸮰øÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇϸç, ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â Àç·á´Â ±Ý¼ÓÁ¦Ç°, ÈÇÐÁ¦Ç° µî ´ÙÁ¾ ´Ù¾çÇÏ´Ù. µû¶ó¼ Àç·áÀÇ ¹üÀ§µµ ¹ÝµµÃ¼ ±× ÀÚü¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ¼ÒÀç¿¡¼ºÎÅÍ °¢ °øÁ¤ÀÇ Ã³¸®°øÁ¤¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â Àç·áµéÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â °³³äÀ¸·Î º¸¾Æ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àç·á´Â Å©°Ô ±â´ÉÀç·á, °øÁ¤Àç·á, ±¸Á¶Àç·á µî 3°¡Áö·Î ±¸ºÐµÇ´Âµ¥, ±â´ÉÀç·á´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âÆÇÀÌ µÇ´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸»Çϸç, °øÁ¤Àç·á´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ °¡°øÇÏ¿© ChipÀ» Á¦Á¶Çϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀç·Î Æ÷Å丶½ºÅ©, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ¹ÝµµÃ¼¿ë °í¼øµµ È°ø¾àÇ° ¹× °¡½º·ù µîÀ¸·Î ³ª´¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ±¸Á¶Àç·á´Â ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ, º»µù¿ÍÀ̾î, ÆÐÅ°Áö Àç·á µîÀ¸·Î ±¸ºÐµÈ´Ù.
ÃÖ±Ù¿¡´Â ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ°¡ Çظ¶´Ù Á¶±Ý¾¿ °¨¼ÒÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ¾ÆÁ÷µµ ±¹³»¼ö¿äÀÇ ¾à 44 %¸¦ ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ºó¾àÇÑ »ê¾÷±¸Á¶¸¦ ³ªÅ¸³»°í ÀÖÀ¸¸ç, ´ëºÎºÐÀ» ÀϺ»À¸·ÎºÎÅÍ ¼öÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¾÷üµéÀÇ »ý»ê È®´ë ³ë·ÂÀ¸·Î Àüü Àç·á ±¹»êÈÀ²Àº °è¼Ó »ó½Â (40% ´ë¿¡¼ 60%´ë·Î »ó½Â) ÇÏ°í Àִµ¥µµ °íÁýÀû ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× ÷´Ü ÆÐÅ°Áö °øÁ¤¿¡ µé¾î°¡´Â °í±â´É ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ´Â °¥¼ö·Ï ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.
ÀÌó·³ ±¹³» Àç·á¾÷üµéÀÇ »ý»ê È®´ë ³ë·Â¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ÇØ¿ÜÀÇÁ¸µµ°¡ Á»Ã³·³ ÁÙ¾îµéÁö ¾Ê°í ÀÖ´Â °ÍÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ½ºÆÛÅ͸µ Ÿ±ê, ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ, Ư¼ö°¡½º µîÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á ºÐ¾ß¿¡¼ ±¹³» ¾÷üµéÀÌ »ý»êÇÏ´Â ´ëºÎºÐÀÇ Á¦Ç°ÀÌ 64MD·¥±Þ ÀÌÇÏ¿¡ Àû¿ëµÇ´Â Àú°¡ Ç°¸ñÀÌ ¸¹À¸¸ç ÇÙ½É °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°Àº ´ëºÎºÐÀ» ÀϺ»¡¤¹Ì±¹ µîÀ¸·ÎºÎÅÍ ¼öÀÔ, »ç¿ëÇÏ°í Àֱ⠶§¹®À¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àç·á¾÷°è´Â ÀÌ°°Àº ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¿¡ ´ëÇÑ ±¹»êÈÀ² ÀúÁ¶´Â ±¹³» Àç·á¾÷üµéÀÇ °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀ·Â ¹Ìºñ¿Í ¼ÒÀÚ¾÷üµéÀÇ ±¹»ê ´ëü ³ë·Â ºÎÁ·ÀÌ ºú¾î³½ °øµ¿ÀÇ °á°ú¶ó°í Áø´ÜÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Àç·á´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿ø°¡¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀÌ Àåºñ¿¡ ºñÇØ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³·Àº ¹Ý¸é Àüü ¼öÀ² ¹× ºÒ·® ¹ß»ý¿¡´Â Àý´ëÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î ¼ÒÀÚ¾÷üµéÀÌ ¼ö±Þ¼± ÀüȯÀ» ²¨¸®°í ÀÖ´Â °Íµµ ÁÖ¿ä ¿øÀÎÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
(°ü·Ã±â»ç)
* LCD¿ë ¼¼¶ó¹Í ±¹»ê °ø±Þ·ü ÀúÁ¶ - µðÁöÅПÀÓ½º 2004.08.06
`±â¼ú·Â Àǹ®' ¼±ÀÔ°ß ÀÛ¿ë, ¼ö¿ä¾÷ü »ç¿ëºñÀ² 40%, ÄõÃ÷ `100% ±¹»êÈ' ´ëÁ¶
¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¿î¹Ý¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ÄõÃ÷(¼®¿µÀ¯¸®±×¸©)°¡ 100% ±¹»êÈµÈ °Í°ú ´Þ¸®, LCD À¯¸®±âÆÇ À̵¿¿ë ¼¼¶ó¹Í ij¸®¾îÀÇ ±¹»ê »ç¿ëºñÀ²Àº 40%¿¡ ºÒ°úÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. 5ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é TFT LCD ½ÃÀåÀÌ ±Þ¼ºÀåÇÏ¸é¼ LCD À¯¸®±âÆÇ À̵¿¿ë ¼¼¶ó¹Í ij¸®¾î ¼ö¿ä°¡ Å©°Ô ´Ã°í ÀÖÀ¸³ª, »ï¼ºÀüÀÚ¤ýLGÇʸ³½ºLCD¤ýºñ¿ÀÀÌÇÏÀ̵𽺠µî ÁÖ¿ä ¼ö¿ä ¾÷üµéÀÇ ±¹»ê »ç¿ë ±âÇÇ·Î ±¹³»½ÃÀåÀÇ 60% °¡·®À» ÇØ¿Ü ¼öÀÔÇ°ÀÌ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ ¿î¹Ý¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ÄõÃ÷¸¦ ±¹³» ¾÷üµéÀÌ 100% ±¹»êÈÇØ °ø±ÞÇÏ´Â »óȲ°ú Å©°Ô ´ëÁ¶µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¿¡½º¿£Æ¼¤ý¿øÀÍÄõÃ÷ LCD¿ë ¼¼¶ó¹Í ij¸®¾î »ý»ê¾÷üµéÀº ±¹»êÀÌ ¿Ü»ê¿¡ ºñÇØ Ç°Áú¿¡ Å« Â÷ÀÌ°¡ ¾ø°í, °ªµµ Àý¹Ý °¡·® ½Ñ µ¥µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, LCD Æгξ÷üµéÀÌ ±¹»ê¿¡ ´ëÇÑ ¼±ÀÔ°ß ¶§¹®¿¡ ±³¼¼¶ó(ÀϺ»)¤ýÄí¾î½º(¹Ì±¹) µî ¿Ü±¹¾÷ü Á¦Ç°À» ¼±È£ÇÏ°í ÀÖ´Ù¸ç ±¹»êÁ¦Ç° »ç¿ë È®´ë¸¦ Ã˱¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±¹³» ¼¼¶ó¹Í ij¸®¾î ¾÷üÀÇ ÇÑ °ü°èÀÚ´Â "7¼¼´ë Á¦Ç°±îÁö´Â ±¹»êÀÌ ¿ùµîÇÑ °¡°Ý°æÀï·ÂÀ» °®Ãß°í ÀÖ°í, ¼º´Éµµ º° Â÷ÀÌ°¡ ¾ø´Â µ¥µµ ±¹³» LCD ÆгΠ¾÷üµéÀÌ ±¹³»¾÷üÀÇ ±â¼ú·Â¿¡ Àǹ®À» Á¦±âÇÏ¸ç »ç¿ëÀ» ²¨¸®°í ÀÖ´Ù"°í ÁÖÀåÇß´Ù. ´Ù¸¥ ¾÷ü °ü°èÀÚ´Â "±¸¸ÅÀÚµéÀº °ªÀÌ Â÷ÀÌ°¡ ³ª´õ¶óµµ Ç°ÁúÀÌ °ËÁõµÈ ¿Ü±¹ Á¦Ç°À» ¼±È£ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÀϹÝÀû"À̶ó¸ç "¼¼¶ó¹Í ij¸®¾îÀÇ °æ¿ìµµ ÀÌ°°Àº ±¸¸Å°üÇà¿¡ »ó´çºÎºÐ ¿µÇâÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â °Í °°´Ù"°í ¸»Çß´Ù.ÀÌ¿¡ ´ëÇØ LCD ÆгΠ¾÷üµéÀº ±¹³» ¾÷üµéÀÇ Ç°Áú ¹× »ý»ê´É·Â µîÀÇ ¹®Á¦ ¶§¹®¿¡ ¿Ü»ê »ç¿ëÀº ¾î¿ ¼ö ¾ø´Â ¼±ÅÃÀ̶ó°í ÁÖÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù.ÇÑÆí, ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¿î¹ÝÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëÇÏ´Â ¼Ò¸ðÇ°ÀÎ ÄõÃ÷´Â ±Ô¼Ò(Si) ÇÔ·®ÀÌ 99.9%·Î ÀϹÝÀ¯¸®(95%)¿¡ ºñÇØ ¼øµµ°¡ ³ôÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ³ì´Â ¿Âµµ°¡ 2000¡É¿¡ À̸£´Â µî °í¿Â¿¡ °ÇÏÁö¸¸, È®À强¿¡ ¹®Á¦°¡ ÀÖ¾î ´ëÇü LCD À¯¸®¿ëÀ¸·Î´Â ¼¼¶ó¹ÍÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. (ÇöÀç´Â »óȲÀÌ ¸¹ÀÌ È£ÀüµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÇ¸ç ±×·Î ÀÎÇØ ±¹»êÈäÅÃÀ²µµ Á¡Â÷ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀÔ´Ï´Ù..)
±×·³ ´ç»ç°¡ »ý»êÇÏ´Â ¼¼¶ó¹Í Á¦Ç°¿¡ ´ëÇØ °£´ÜÇÏ°Ô »ìÆ캸°í ÇØ ¾÷ü¿¡ ´ëÇÑ Á¾¸ñºÐ¼®À» ÇØ º¸°Ú½À´Ï´Ù..
(1) ¼¼¶ó¹Í½º ÀÇ Á¤ÀÇ
- ºñ±Ý¼Ó ¹«±âÀç·á¸¦ ¿ø·á·Î »ç¿ëÇÏ°í Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ÀÖ¾î¼ °í¿Â󸮸¦ ¹ÞÀº »ý»ê¹°
(2) ¼¼¶ó¹Í½ºÀÇ Æ¯¼º
- ±â°èÀû Ư¼º (°í°µµ, ³ôÀº ³»¸¶¸ð¼º, °í°æµµ, Àμº µî)ÀÌ ³ôÀ½.
- Àü±âÀû Ư¼º (³ôÀº Àü±â Àý¿¬¼º)ÀÌ ¿ì¼öÇÔ.
- ³»¿ Ư¼º (³»Èµµ µî)ÀÌ ¿ì¼öÇÔ.
- ³»ÈÇÐÀû Ư¼º (³»½Ä¼º, ¹ÝÀÀ ¾ÈÁ¤¼º µî)ÀÌ ¿ì¼öÇÔ.
(3) ¼¼¶ó¹Í½ºÀÇ ¿ëµµ (´ç»ç ÁÖÁ¾»ê¾÷ À§ÁÖ)
¤¡. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ : ¸ðµç Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ Ä¡±¸·Î »ç¿ë.
- ·Îº¿¸öü. ¿öÀÌÆÛ ¸µ·ù, Àý¿¬Ã¼, GAS ¹× ÇöóÁ SHIELD ·ù
- °¢Á¾ °í°µµ, ³»¸¶¸ð¼º ºÎÇ°·ù
¤¤. DISPLAY (TFT - LCD µî) »ê¾÷ : TFT Á¦Á¶°øÁ¤ÀÎ CVD °øÁ¤, DRY ETCH °øÁ¤,
SUPTTER °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ë.
- ´ëÇü SIZE ROBOTÀÇ END EFFECTOR ·ù
- Àü±Ø ¹× ÀåºñÀÇ °íÇÏÁß¿¡ °ßµð´Â °í°µµ PLATE ·ù ¹× SHAFT ·ù
- Àý¿¬ INSULATOR PLATE ·ù
- GAS ¹× ÇöóÁ SHIELD PLATE ·ù
- °í¿Â. °íÇÏÁß¿¡ °ßµð´Â °¢Á¾ PARTS ·ù
- À̼ۺο¡ »ç¿ëµÇ´Â ³»¸¶¸ð ¹× ³»Ä§½Ä¼º ºÎÇ°·ù
¤§. ¹ßÀü¼Ò ¹× Á¦Ã¶¼Ò : ³»Ä§½Ä¼º ¹× ³»¸¶¸ð¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Á¦Ç°
- ±¤¹°¿î¹Ý, À̼Û, ÀúÀåÀåÄ¡ÀÇ ³»¸¶¸ð¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ LINER ·ù
- ºÎ½Ä¼º GAS µî¿¡ °ßµð´Â LINER ·ù
- ³»¿¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ BOAT, CRUCIBLE, SETTER, SAGGER
<ÃÑÀÚ»ê°ú ¸ÅÃâ¾× ÃßÀÌ>
´ç»çÀÇ ¸ÅÃâ¾× ±Ô¸ð´Â ÀÛÁö¸¸ ÇöÀç ÀÚ»ê/¸ÅÃâ¾×/ÀÚº»/ºÎä°¡ ¿ì»óÇâÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ´Â Áö¼Ó ¼ºÀåÀÇ ¼±»ó¿¡ ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ¸ç ±×°£ 00³â ~ 03³â »çÀÌÀÇ ¸ÅÃâ¾× Á¤Ã¼±¸°£À» (150¾ï¿ø´ë) ¹þ¾î³ª ÀÛ³âºÎÅÍ »ó´çÆøÀÇ ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡°¡ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù..ÃÑÀÚ»êÀÌ ¸ÅÃâ¾×À¸·Î ÀüȯµÇ´Â È¿À²¼º (ÃÑÀÚ»êȸÀüÀ²) ÀÌ ±×´ÙÁö ÁÁÀº ÆíÀº ¾Æ´Ï¸ç ±×¿øÀÎÀÌ ¾îµð¿¡ ÀÖ´ÂÁö ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î »ìÆ캸°Ú½À´Ï´Ù.
¸ÅÃâ¾× Á¤Ã¼¸¦ ¹þ¾î³ª±â À§ÇØ 03³âºÎÅÍ »ó´çÇÑ ÅõÀÚ°¡ ÁøÇàµÇ¾î 04³â±îÁö À̾îÁ® °£ ¸ð½ÀÀ̸ç (ÀÚ»êºñÁß¿¡¼ À¯ÇüÀÚ»êÁõ°¡, Çö±ÝÈ帧ǥ¿¡¼ »¡°£»ö À¯ÇüÀÚ»ê Áõ°¡) 05³â ÇöÀç ½ÃÁ¡¿¡¼´Â ¾î´ÀÁ¤µµ ÅõÀÚ°¡ ¸¶¹«¸® µÈ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵ˴ϴÙ..Áï 04³â ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡´Â ÅõÀÚÈ®´ë·Î ÀÎÇÑ Áõ°¡·Î ÆÇ´ÜÀÌ µÇ¸ç ±× È帧ÀÌ 05³â ÀÌÈķαîÁö À̾îÁúÁö´Â Á»´õ »ìÆ캼 ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ°Ú½À´Ï´Ù..
±×·³ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¾î¶² Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚÈ®´ë°¡ ÀÌ·ç¾îÁ³´ÂÁö »ìÆ캸°Ú½À´Ï´Ù.
´ç»çÀÇ »ý»êÁ¦Ç° Áß¿¡ ¾Ë·ç¹Ì³ª¿Í ½Ç¸®ÄÜ ºÐ¾ßÀÇ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ¾úÀ½À» º¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù..
±× ÀÌÀ¯¸¦ »ìÆ캸±â À§ÇØ ´ç»ç°¡ »ý»êÇÏ´Â °¢°¢ÀÇ Á¦Ç°ÀÇ ÇöȲ¿¡ ´ëÇØ Àá°£ »ìÆ캸°Ú½À´Ï´Ù.
´ç»ç´Â ÆÄÀμ¼¶ó¹Í (¾Ë·ç¹Ì³ª, ½Ç¸®ÄÜ, ÄõÃ÷)°ú ¼¼Á¤ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÑ´Ù°í ¾ð±ÞÇÏ¿´½À´Ï´Ù..
1) ¾Ë·ç¹Ì³ª (Al2O3) »ç¾÷
±¹³» ¾Ë·ç¹Ì³ª ¼¼¶ó¹Í½º Á¦Ç°½ÃÀåÀº ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß ¹× »ê¾÷¿ë ºÐ¾ß·Î ³ª´ ¼ö Àִµ¥ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß´Â ´ç»ç¸¦ ºñ·ÔÇÏ¿© Äí¾î½ºÅØ, ¿øÀÍÄõÃ÷, NSP µîÀ¸·Î ÁÖ·Î 4°³»ç°¡ °æÀïÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç »ê¾÷¿ëºÐ¾ß´Â Æ÷ö·ÎÀç ¹× (ÁÖ)µ¿¼ µîÀÇ Áß°ß¾÷ü¿Í ±âŸ ¼Ò±â¾÷µéÀÌ °æÀïÇÏ°í ÀÖÀ½.
¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ ÀÖ¾î¼ ÇØ´ç °æÀï¾÷ü¿ÍÀÇ °æÀï·ÂÀ» °Å·¡¾÷ü Ãø¸é¿¡¼ ºñ±³¸¦ ÇÏ¸é ´Ù¸¥ °æÀï»ç´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¾÷üÀÇ ÀϺο¡¸¸ °ø±ÞÇÏ´Â ¹Ý¸é¿¡ ´ç»ç´Â ±¹³» Àü ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ¾÷ü (»ï¼ºÀüÀÚ, ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼, µ¿ºÎ ¾Æ³²¹ÝµµÃ¼ µî) ¹× ¹ÝµµÃ¼Àåºñ¾÷ü (Çѱ¹DNS µî) ¿Í LCD ¼ÒÀÚ¾÷ü(»ï¼ºÀüÀÚ, LGÇʸ³½º µî) ¹× LCD Àåºñ¾÷ü(ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ, ¿¡À̵ðÇÇ¿£Áö´Ï¾î¸µ µî)¿¡ ´ç»çÀÇ Á¦Ç°À» °ø±Þ.
¹ÝµµÃ¼¿ë ¾Ë·ç¹Ì³ªÁ¦Ç°¿¡ ÀÖ¾î¼ Äí¾î½ºÅØÀº ´Ü¼øÇÏ¸é¼ °í¼øµµ°¡ ¿ä±¸µÇÁö ¾Ê´Â Á¦Ç°¿¡ ´ëÇؼ ³·Àº Á¦Ç°°¡°¡ °æÀï·ÂÀ» °¡Áö°í ÀÖÁö¸¸, °í¼øµµ¸¦ ¿ä±¸µÇ°Å³ª Çü»óÀÌ º¹ÀâÇϰųª Å©±â°¡ ´ëÇüÀÎ ±â¹°¿¡ ´ëÇؼ ´ç»çÀÇ Á¦Ç°ÀÌ ´ëºÎºÐ »ç¿ëµÇ¾îÁö°í ÀÖÀ½.
ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß¿¡ ÀÖ¾î 300mm¿þÀÌÆÛ ¾ç»ê½ÃÁ¡ÀÌ ´Ù°¡¿À¸é¼ 300mm¿þÀÌÆÛ ¼³ºñÀÇ ÅõÀÚ·Î ÀÎÇÑ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡¿Í ÇÔ²² CIP(Cold Isosstatic Pressing) ½Ã¼³ÅõÀÚ¸¦ ¿Ï·áÇÑ »óÅÂ. ÅõÀڱݾ×Àº 10¾ï¿øÀ¸·Î CIP´Â ´Ü¼øÇÑ Çü»óÀÇ Á¦Ç°À» ¼ÒÇ°Á¾ ´ë·®»ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀϹݱ¸Á¶¿ë¼¼¶ó¹Í ºÐ¾ß¿¡ ÀÀ¿ëÇÏ¿© ¸ÅÃâó¸¦ ´Ùº¯È½ÃÅ°´Â µî °¡°Ý°æÀï·ÂÀ» ÅëÇÑ ½ÃÀå ¿µÇâ·ÂÀ» È®´ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ë.
2) ½Ç¸®ÄÜ (Silicon) »ç¾÷
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µå´Âµ¥ ¾ø¾î¼´Â ¾ÈµÉ ÁÖ¿ä ºÎÀÚÀçÀÎ SiliconÀº ÇöÀç ³â°£ ¾à 1,500¾ï¿ø Á¤µµ
±¹³»¿¡¼ ¼Ò¿äµÇ°í ÀÖÀ¸³ª, ÀÌÁß ¾à 10%¸¦ ±¹³» 2¡3°³ ¾÷ü¿¡¼ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ³ª¸ÓÁö´Â
¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í Àְųª °ø±ÞÀÌ ÀÌ¿¡ ¹ÌÄ¡Áö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Â ½ÇÁ¤.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ¸Å¿ì ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±ÞµÉ ¼ö ÀÖ´Â Àç·áÀÎ µ¿½Ã¿¡ µ¶¼ºÀÌ ÀüÇô ¾ø¾î ȯ°æÀûÀ¸·Î
µµ ¸Å¿ì ¿ì¼öÇÑ Àç·áÀÌÁö¸¸ Á¤Á¦¿¡ ´ëÇÑ Çٽɱâ¼úÀÌ ¼±ÇàµÇ¾î¾ß ÇÔ.
µû¶ó¼, Silicon¿øÀç·á´Â ¼±Áø±¹ 10¿©°³ÀÇ Á¦Á¶È¸»ç (GE, Toshibaµî)°¡ ½ÃÀåÀ» µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¼ú Áý¾àÀû Á¤¹ÐÈÇлê¾÷À¸·Î ±¹³»¿¡¼´Â LG½ÇÆ®·Ð°ú MEMC¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜÀ» °ø±Þ.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Silicon½ÃÀåÀº Å©°Ô Si°¡°øºÎÇ°½ÃÀå°ú SiÀü±Ø½ÃÀåÀ¸·Î ´ëÇ¥µÇ´Âµ¥
´ç»çÀÇ °æ¿ì Si°¡°øºÎÇ°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ÀÖ¾î¼ ±¹³»½ÃÀåÀÇ 30% Á¤µµ¸¦
Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖÀ½. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯´Â Si Á¦Ç°¿¡ ÀÖ¾î¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ °¡°ø±â¼úÀÎ Æú¸®½Ì
(Polishing)°øÁ¤À» ±¹³»¿¡¼ ÃÖÃÊ·Î Á¦Ç°ÈÇ߱⠶§¹®.
¹ÝµµÃ¼¿ë ½Ç¸®ÄÜÁ¦Ç°ÀÇ ¼ö¿ä´Â È®´ëµÇ¾î°¡°í Àִµ¥ ´Ü°¡ÀÎÇÏ°¡ °è¼ÓÀûÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ¾î ¿¹³â¿¡ ºñÇØ ½ÃÀåÀÇ ¸Å·Âµµ´Â ¶³¾îÁö°í ÀÖÀ½.
½Ç¸®ÄÜÁ¦Ç°À» ¸¸µå´Â ¾÷ü°¡ °ú°Å¿¡ ºñÇØ ¸¹ÀÌ ´Ã¾î³ª¸é¼ °¡°ø±â¼ú ¶ÇÇÑ ÀϹÝȵǾú±â ¶§¹®
ÀÌ¸ç ½Ç¸®ÄÜÀ» ¸¸µé±â À§ÇØ ¼öÀÔÇÏ´Â ÀΰíÆ®(Ingot)ÀÇ °¡°ÝÀº ³ô¾ÆÁö°í ÆǸÅÇÏ´Â Á¦Ç°ÀÇ ´Ü°¡
´Â ¶³¾îÁö°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ¿¹³â°ú °°Àº ¼öÀÍÀ» ³»±â´Â ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖÀ½.
ÇÏÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶Àåºñ¿¡ ÀÖ¾î¼ °ü·Ã ±¸¼ºÇ°µéÀÇ ¼ÒÀç°¡ ÄõÃ÷¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜÁ¦Ç°À¸·Î
¿©ÀüÈ÷ »ó´ç¼ö ´ëüµÇ°í Àִµ¥ ÀÌ´Â ½Ç¸®ÄÜÀÌ ÄõÃ÷¸øÁö ¾ÊÀº °í¼øµµÀ̸鼵µ ³»¸¶¸ð
¼º¿¡¼ ÄõÃ÷º¸´Ù ¿ì¼öÇϱ⠶§¹®¿¡ ´õ ¿À·¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡À» °¡Áö°í Àֱ⠶§¹®.
µû¶ó¼, °ú°Å¿¡ ÄõÃ÷·Î »ç¿ëÇÏ´ø Àåºñ´Â °è¼Ó ÄõÃ÷¼ÒÀ縦 »ç¿ëÇØ¾ß ÇÏÁö¸¸ ÇöÀç µµÀÔ
µÇ´Â Àåºñ´Â ½Ç¸®ÄÜÀ» ÀåÂøÇÑ Àåºñ°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â Ãß¼¼·Î ¹ÝµµÃ¼¿ë ½Ç¸®ÄÜÁ¦Ç°ÀÇ ¼ö¿ä°¡
¿©ÀüÈ÷ ´Ã°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î ´Ü°¡°æÀï·Â¸¸ ÀÖ´Ù¸é ÃæºÐÈ÷ ¼öÀÍÀ» Áõ´ë½Çų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
* Si-SiC(½Ç¸®ÄÜ Ä«º¸³×ÀÌÆ®) ¼ÒÀç °³¹ß
´ç»ç´Â 30¾ï¿øÀÇ ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ SiC(½Ç¸®ÄÜ Ä«º¸³×ÀÌÆ®)¿ë ºÎÇ°À» ¾ç»êÇÒ ¿¹Á¤.
À̹ø¿¡ »ý»êÇÏ´Â SiCÁ¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ÀÎ LP-CVD°øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ë.
¹ÝµµÃ¼¿ë SiCÁ¦Ç°ÀÇ ÃÖ´ë Å©±âÀÎ 3¹émm¿þÀÌÆÛ ¿Ã³¸®°¡ °¡´ÉÇÏ°í ±âÁ¸ÀÇ ¿þÀÌÆÛ ¼ÒÀçÀÎ
½Ç¸®ÄÜÀ̳ª ¼®¿µ¼ÒÀç¿¡ ºñÇØ ¿Àüµµ¼ºÀÌ ÁÁ°í ¿ÆØâ·üÀÌ ³·À¸¸ç ³»½Ä¼ºÀÌ °ÇÔ.
SiC´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°°³¹ß·ÎÀÇ ÀÀ¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ¿© ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ½ÃÀåÀü¸ÁÀÌ
¹àÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó.
3) ÄõÃ÷ (Quartz) »ç¾÷
3»ç ÀÌ¿Ü¿¡ ¸Å¿ì ¸¹Àº ¼Ò±Ô¸ð ÄõÃ÷°¡°ø¾÷ü°¡ ÀÌ ½ÃÀå¿¡¼ °æÀïÇÏ°í ÀÖ°í, ¿øÀÍÄõÃ÷, ¿µ½ÅÄõÃ÷, ±Ý°ÄõÃ÷ µîÀº Diffusion Part¸¦ ÁÖ·Î »ý»êÇÏ´Â ¾÷üÀÎ ¹Ý¸é, ´ç»ç´Â Spare Part¸¦ ÁÖ¿ä »ý»êÇÏ´Â Â÷À̸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ½.
¸¹Àº °¡°ø¾÷ü°¡ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖ´Â ÄõÃ÷½ÃÀåÀº ±¹³»¿¡¼ °¡°øµÇ¾îÁö´Â ¿øÀç·á ÀüºÎ¸¦ ¼öÀÔÇؾ߸¸ ÇÏ´Â Çö½Ç°ú ¸¹Àº ÄõÃ÷°¡°ø¾÷üÀÇ ½ÃÀåÂü¿©·Î ÀÎÇÑ °¡°ÝÀÎÇÏ°æÀïÀ¸·Î ´Ù¸¥ ÀçÁúÀÇ ¼ÒÀç¿Í ºñ±³ÇÒ ¶§¿¡ ³ôÀº ¼öÀͼºÀ» ±â´ëÇϱ⠾î·Æ°í, ¼öÀÔ´ëü¸¦ ÅëÇÏ¿©¼ ¼öÀͼºÀ» º¸Àå¹ÞÀ» ¼ö ÀÖÁö¸¸ ÀÌ¹Ì ¸¹Àº Á¦Ç°ÀÌ ±¹»êÈµÈ »óÅ¿©¼ Çõ½ÅÀûÀÎ ½ÅÀåÀº ±â´ëÇϱ⠾î·Æ¿ò.
´ç»çÀÇ °æ¿ì´Â Focus Ring¸µÀ» ºñ·ÔÇÏ¿© °¢Á¾ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ¿ë RingÇüÅÂÀÇ Á¦Ç°°ú Àü±âÀý¿¬Ã¼Á¦Ç° µîÀ» ÁÖ·Î »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Á¤¹Ð°¡°øÀÇ ±â¼ú¼öÁØÀº ´Ù¸¥ ȸ»ç¿¡ ´ëÇÏ¿© ºñ±³¿ìÀ§¸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ½.
4) ¼¼Á¤»ç¾÷
¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚÀÇ °íÁýÀûÈ, °í¼º´ÉÈ°¡ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó »ý»ê¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â Àåºñ¶ÇÇÑ ´ëÇüÈ, °íÁ¤¹ÐÈ µÇ¾î°¡°í ÀÖ´Â Ãß¼¼¿¡¼ ±¹³»¹ÝµµÃ¼¾÷üµéÀº ³ô¾ÆÁ®°¡´Â ½Ã¼³ÅõÀÚºñ¿Í ¿ø°¡°æÀï·ÂÈ®º¸¸¦ À§ÇÑ ÀÏȯÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ³»ÀÇ ºÎÇ°µéÀÇ »ç¿ë¼ö¸í ¿¬Àå ¹× ±¸¸Åºñ¿ëÀ» ÁÙÀÌ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇöÀç ½ÃÀåÀÌ È®´ëµÇ°í ÀÖÀ½.
±¹³»¿ÜÁÖ¼¼Á¤¾÷ü·Î´Â Á¤¹Ð¼¼Á¤¿¡ ´ëÇÑ ±â¼ú·Â°ú ¼¼Á¤°ü·Ã ½Ã¼³À» È®º¸ÇÑ Àü¹®¾÷ü·Î ÄÚ¹ÌÄÚ°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ´ëºÎºÐÀº ´Ü¼øÀç󸮿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ¼Ò±Ô¸ð¾÷ü·Î¼ ´ç»çÀÇ ¿µ¾÷·ÂÀÌ È®´ëµÊ¿¡ µû¶ó ¿ÜÁÖ¼¼Á¤½ÃÀåÀÇ Æǵµ°¡ ÀçÆíµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÊ.
Áï ÀÌ·¯ÇÑ ¿©·¯°¡Áö Á¦Ç°º° ÇöȲ¿¡ µû¶ó ´ç»ç´Â ¾Ë·ç¹Ì³ª, ½Ç¸®ÄÜ ºÐ¾ßÀÇ ÅõÀÚ¸¦ È®´ëÇÏ¿´À¸¸ç ´Ù°¢ÈÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ¼¼Á¤»ç¾÷±îÁö ÁøÃâÇÏ¿© ȸ»çÀÇ ¼ºÀå°ú ¼öÀͼºÀ» ²ÒÇÏ´Â Àü·«À¸·Î ³ª°£ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵÊ.
ÀÌ·¯ÇÑ È帧¼Ó¿¡ ÀÛ³âÀÇ ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡´Â ¾Ë·ç¹Ì³ª¿Í ½Ç¸®ÄÜ ºÐ¾ßÀÇ ÅõÀÚÈ®´ë¿Í ½Å±Ô»ç¾÷À¸·ÎÀÇ ÅõÀÚ¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡·Î ÆǴܵɼö ÀÖÀ½.
±×·¸´Ù¸é ¸ÅÃâ¾× Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¼öÀͼºÀº Çѹø ¾Ë¾Æº¸ÀÚ
03, 04³âµµ ÅõÀÚÈ®´ë¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ¾×ÃÑÀÌÀÍÀ²°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ² °£ÀÇ ±«¸®°¡ Á¡Â÷ Ä¿Áö°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌÁö¸¸ Çö »óÅ¿¡¼ À¯ÀԵǴ ¿µ¾÷Çö±ÝÈ帧À» ¶Ù¾î³Ñ´Â Ãß°¡ÀûÀÎ ÅõÀÚ°¡ ÀÌ·ç¾îÁöÁö ¾Ê´Â´Ù¸é ±× °¸Àº Á¡Â÷ ÁÁÇôÁú°ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.(Áï ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ²ÀÌ Á¡Â÷ È£ÀüµÉ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵȴÙ.)
¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ºñ¿ë±¸Á¶¸¦ »ìÆ캸¸é ÇöÀç °¨°¡»ó°¢ºñÀÇ ¸ÅÃâ¾×´ëºñ ºñÁßÀÌ 03³â ÀÌÈÄ ÅõÀÚÈ®´ë·Î 13%±îÁö ³ô¾ÆÁ³À¸³ª Ãß°¡ÀûÀÎ ÅõÀÚÈ®´ë°¡ ÀÌ·ç¾îÁöÁö ¾Ê´Â´Ù¸é °¨°¡»ó°¢ºñÁßÀÇ °¨¼Ò·Î ¸ÅÃâ¿ø°¡¿Í ÆÇ°üºñÀÇ ºñ¿ëºÎ¹®À» °¨¼Ò½Ãų ¿©Áö°¡ Å©¹Ç·Î ÀÌÀÍÀ²ÀÇ È£ÀüÀ» ¿¹»óÇØ º¼¼ö ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ ºñ¿ëÃø¸é¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ¼ö ÀÖ´Â ÀΰǺñ¿Í Á÷¿ø¼ö, ¿¬±¸°³¹ß ´ÜÀ§´ç ºÎ°¡°¡Ä¡ ±â¿©±Ý¾×µµ Ç϶ô ±âÁ¶¿¡¼ Á¡Â÷ Ⱦº¸³ª ȸº¹±âÁ¶·Î ¹ÝÀüµÇ´Â °ÍÀ¸·Î º¼¶§ ÇâÈÄ ºñ¿ëÃø¸éÀÇ È®´ë·Î ÀÌÀÍÀ²ÀÌ °¨¼ÒµÉ ¿©Áö´Â Ä¿ º¸ÀÌÁö´Â ¾Ê´Â´Ù..
´Ü ÇöÀç µ·ÀÇ È¸ÀüÀ² Ãø¸é¿¡¼ µ·ÀÌ °úµµÇÏ°Ô ¹¿©ÀÖ¾î ( 05³â 3¿ù ±âÁØÀ¸·Î Àç°íÀÚ»êÀº 150ÀÏÁ¤µµ, ¸ÅÃâä±ÇÀº 50ÀÏÁ¤µµ·Î Àüü 170ÀÏ Á¤µµ Çö±ÝÀÌ ¿îÀüÀڻ꿡 ¹¿© ÀÖÀ½) À̺κÐÀº ¾î¶»°Ô ÇØ°áÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀΰ¡¸¦ ¼÷Á¦·Î ³²±ä µíÇÏ´Ù..
ƯÈ÷ Áö³ªÄ£ Àç°íÀÚ»ê Áõ°¡°¡ ´ç»çÀÇ ÇâÈÄ ¾÷ȲÀÇ Áö³ªÄ£ Àڽۨ¿¡¼ ¿À´Â Àü·«ÀÏÁö ¾Æ´Ï¸é ÆÇ´Ü ¿À·ù¿¡¼ ³ª¿À´Â ½ÇÆÐÀÏÁö´Â µÎ°í º¼ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖÀ» µí ÇÏ´Ù..
(´ç»çÀÇ Àç°íÀÚ»ê ½Ç»ç´Â 1³â¿¡ 2¹ø ½Ç½Ã, ¹Ý±â´Â 6¿ù10ÀÏ¿¡ ½Ç½ÃÇÔ..
±×·¡¼ 1ºÐ±âÀÇ Àç°íÀÚ»ê±Ô¸ð´Â ´Ù¼Ò ºÎÁ¤È®ÇÑ Ãø¸éÀÌ ÀÖÀ½)
´Ù¸¸ Àç°íÀÚ»ê Áõ°¡ÀÇ ¿äÀÎÀÌ Á¦Ç°Àç°í Áõ°¡µµ ÀÖÁö¸¸ ¿ø/ºÎÀç·áÀÇ Áõ°¡¿¡ ±âÀÎÇÑ ¸éÀÌ ÀÖÀ½À» º¼¶§ ¿øÀç·á °¡°ÝÀÇ »ó½Â°ú ÇâÈÄ ¾÷Ȳ¿¡ ´ëÇÑ È£Àü¿¡¼ ºñ·ÔµÈ ÀڽۨÀÌÁö ¾ÊÀ»±î¶ó´Â Á¶½É½º·± ¿¹°ßÀ» ÇØ º»´Ù.
°á·ÐÀûÀ¸·Î 05³âµµ¿¡ ±¹³»¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ ½Å±ÔFABÅõÀÚ (»ï¼ºÀüÀÚ 13,14 ¶óÀÎ ¹× SÇÁ·ÎÁ§Æ®, ÇÏÀ̴нº T1,T2 ÇÁ·ÎÁ§Æ®, µ¿ºÎ¾Æ³² µî) ¿¡ µû¶ó 300 m/m ¿þÀÌÆÛ »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½Å±Ô ¼öÁÖ¿Í ÃÖ¾ÇÀÇ ±¹¸éÀÌ ¾î´ÀÁ¤µµ ÁøÁ¤µÈ ÇâÈÄ È¸º¹ÀÌ ¿¡»óµÇ´Â LCD ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå°ú ±×·ÎÀÎÇÑ ¸ÅÃâ¾× »ó½ÂÀÌ ¿ÃÇصµ ¿¹»óÀÌ µÇ¸ç (¿ÃÇØ ¿¹»ó¸ÅÃâ¾× 310 ~ 340 ¾ï¿ø Á¤µµ ¿¹»ó) ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ °æ±â ȸº¹ Æ®·»µå¿Í ±×·ÎÀÎÇÑ ÇØ¿Ü ¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚÁõ°¡¿Í °¡µ¿À²Áõ°¡, ¹ÝµµÃ¼ ±³Ã¼¼ö¿ä ¸Â¹°¸®¸é ´ë·« 07,08³âÁ¤µµ¿¡´Â ´ç»çÀÇ ¸ÅÃâ¾×ÀÌ ÇÇÅ©¸¦ ÀÌ·ê°ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
(´ë·« 700¾ï¿ø´ë·Î ÃßÁ¤ - ÁÖ°üÀûÀÎ ÆÇ´ÜÀÓ.)
Áï ÇâÈÄ ±àÁ¤ÀûÀÎ ½Ã±×³Î·Î ÆÇ´ÜÇÒ ¶§ ÇöÀç¿Í °°Àº °¡µ¿À² Ãß¼¼¿¡¼´Â ´ç»çÀÇ ½Ã¼³ÅõÀÚ°¡ 06³â Á߹ݿ¡ Çѹø ´õ ÀÌ·ç¾îÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÀÌ µÇ¸ç ÇöÀç Àç·á/¼ÒÀçºÎÇ°ÀÇ ±¹»êÈ Ã¤ÅÃÀ²ÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í´Â ÀÖÁö¸¸ ¾ÆÁ÷µµ ¹ÌÁøÇÑ »óÅ·Π¸Ó¹°°í ÀÖ´Â ÇöȲÀ¸·Î º¼¶§ »ó´ëÀûÀ¸·Î ´ç»ç¿Í °°Àº ±¹³»¾÷üµé¿¡°Ô ±×¸¸ÅÀÇ ±âȸ°¡ Ä¿Áú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÀÌ µÈ´Ù.
¸¶Áö¸·À¸·Î ÃÖ±Ù ´ç»ç¿Í °ü·ÃµÈ ±â»ç¸¦ ÷ºÎÇÏ¿© ³¡³»°Ú½À´Ï´Ù..
(°ü·Ã±â»ç)
´ëÇü ¹ÝµµÃ¼¡¤LCD¶óÀÎ '¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°' ÀαⰡµµ - ÀüÀڽŹ® 2005.07.08
À¯ÇØ °¡½º³ª ÇöóÁ ¹ß»ýÀÌ ¸¹Àº 300§® ¹ÝµµÃ¼ ¶óÀΰú 7¼¼´ë LCD ¶óÀÎ °¡µ¿À¸·Î ³»½Ä¼º¡¤³»±¸¼º¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°ÀÇ ¼ö¿ä°¡ Ä¿ÁöÀÚ ÇØ´ç ¾÷üµéÀÌ Á¦Ç° °³¹ß¿¡ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
7ÀÏ °ü·Ã ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ¿¡½º¿£Æ¼°¡ ¾Ë·ç¹Ì³ª¡¤½Ç¸®ÄÜ ¼ÒÀ縦 Áß½ÉÀ¸·Î ´ëÇü Á¦Ç° ½ÃÀå °ø·«À» °ÈÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÄÚ¹ÌÄÚ¡¤¿øÀÍÄõÃ÷ µîµµ ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ° »ç¾÷À» È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¾÷°è ÇÑ °ü°èÀÚ´Â ¡°¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°Àº ¼Ò¸ð¼ºÀ̶ó ¼ö¿ä°¡ ²ÙÁØÇÏ°í ´ëÇü Á¦Ç°Àº ¼ÒÀçÀÇ Á¶¼º¡¤¼Ò°á¿¡ ±â¼ú·ÂÀÌ ÇÊ¿äÇØ ºÎ°¡ °¡Ä¡°¡ ³ô´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿¡½º¿£Æ¼(´ëÇ¥ ÀÌÀçÈ«)´Â ³»½Ä¼ºÀÌ °ÇÑ ¾Ë·ç¹Ì³ª ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°À» 7¼¼´ë LCD ¿¡Ã³ Àåºñ µî¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¿þÀÌÆÛ ¹è¼±Æø Ãà¼Ò¿¡ ¸ÂÃç Àåºñ ³» À̹°Áú ¹ß»ýÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜ ¼ÒÀç ºÎÇ° »ý»êµµ ´ÃÀÌ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»ç ÀÌÀçÁ¤ »ó¹«´Â ¡°ÇöÀç Àü³â µ¿±âº¸´Ù ÁÖ¹®ÀÌ 30% ÀÌ»ó ´Ã¾ú°í ´ëÇü ºÎÇ°¸¸ µûÁö¸é 40% Áõ°¡Çß´Ù¡±¸ç ¡°3m ÀÌ»óÀÇ ´ëÇü ±â¹°±îÁö ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¿ÃÇØ Àü³â ´ëºñ 40% Áõ°¡ÇÑ 325¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¶Ç ÄÝµå ½ºÇÁ·¹ÀÌ ÄÚÆÃ, ½Ç¸®ÄÜÄ«¹ÙÀ̵å(SiC) µî ½Å±Ô »ç¾÷µµ ÃßÁøÇÑ´Ù.
ÄÚ¹ÌÄÚ(´ëÇ¥ Àü¼±±Ô)´Â ±âÁ¸ Á¤¹Ð ¼¼Á¤ »ç¾÷ ¿Ü¿¡ ¼¼¶ó¹Í¼ÒÀç Á¤Àüô(ESC)°ú ÇöóÁ ÄÚÆà µî ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°À» ½Å±Ô »ç¾÷À¸·Î À°¼º, ¿ÃÇØ ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ 100¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸°´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù. ÇöÀç ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ 200§® ¿þÀÌÆÛ¿ë Á¤ÀüôÀ» ÆǸŠÁßÀ̸ç 300§® Á¦Ç°µµ °³¹ß ÁßÀÌ´Ù.
ÄõÃ÷ ¾÷üÀÎ ¿øÀÍÄõÃ÷(´ëÇ¥ ÃÖÈ«¼®) ÄõÃ÷µµ LCD Àåºñ¿ë ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ° ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇßÀ¸¸ç Ƽ¾¾ÄÉÀÌ(´ëÇ¥ À̼øâ)µµ SiC ÄÚÆà ·Î 3È£±âÀÇ ½Å±Ô °¡µ¿¿¡ µé¾î°¬´Ù.
P.S
´ç ºÐ¼®Àº 7¿ù 18Àϳ¯ ½Ç½ÃÇÏ¿© ±× ÀÌÈÄ ¹ßÇ¥µÈ ¿ÃÇØ 2ºÐ±â ½ÇÀûÀ» Æ÷ÇÔÇÏÁö ¸øÇß½À´Ï´Ù..
1) 2ºÐ±â ½ÇÀû °øÁ¤°ø½Ã
2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº 1ºÐ±â ´ëºñ 34% ´Ã¾î³ 70¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 80% Áõ°¡ÇÑ 12¾ï¿ø°æ»óÀÌÀÍÀº 45% Áõ°¡ÇÑ 13¾ï¿ø Á¤µµ³×¿ä..
±×·¡¼ ¹Ý±â±âÁØ ¸ÅÃâ¾×Àº 120¾ï¿ø ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 19¾ï¿ø °æ»óÀÌÀÍÀº 22¾ï¿øÁ¤µµ·Î Ãß»êµË´Ï´Ù..
2) ¼ö±Þ°ü·Ã
´ç»ç´Â 02³â 3¿ù 600¸¸ºÒ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ½ÅÁÖÀμö±ÇºÎ»ç並 ¹ßÇàÇÏ¿© 03³â 3¿ù¿¡ 600¸¸ºÒÀ» Á¶±â »óȯÇÏ¿´À½. ±×·¯³ª 600¸¸ºÒ¿¡ ´ëÇÑ ½ÅÁÖÀμö±ÇÀº À¯È¿ÇÑ »óÅÂ.
Çà»ç°¡°ÝÀº Á¶Á¤µÇ¾î 3¿ù¸» ±âÁØÀ¸·Î 3,700¿øÀ̸ç Çà»ç¹°·®Àº ´ë·« 215¸¸ÁÖ·Î Ãß»êµÊ. ±×·¯³ª ´ç»ç°¡ ¿ÃÇØ 2ȸ¿¡ °ÉÃÄ Àå¿Ü½ÃÀå¿¡¼ ½ÅÁÖÀμö±Ç 107¸¸ÁÖ ¸ÅÀÔÇÏ¿© º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ½.
±ä ±Û ÀÐÀ¸½Ã´À¶ó ¼ö°í ¸¹À¸¼Ì½À´Ï´Ù..