2005-02-18 22:34[½ºÅ©·¦]±â¾÷°¡Ä¡ ¾ó¸¶·Î ºÁ¾ßÇϳª? | ±â»ç ½ºÅ©·¦
±â»ç¿ø¹® : ¾ÆÀÌÅõÀÚ > ±â¾÷°¡Ä¡ ¾ó¸¶·Î ºÁ¾ßÇϳª?

1. Àڻ갡ġ°¡ ¼öÀÍ°¡Ä¡¸¦ ¾ÕÁö¸¦ ¶§...-> ¼öÀÍ°¡Ä¡ ±âÁØÀ¸·Î ȸ»ç °¡Ä¡¸¦ ÆÇ´ÜÇØ¾ß ÇÒ°Ì´Ï´Ù.

2. Àڻ갡ġ¿Í ¼öÀÍ°¡Ä¡°¡ ºñ½ÁÇÒ¶§ .. -> ±×³É ±× ¼öÁØÀÌ ±â¾÷°¡Ä¡¶ó°í ºÁµµ µÇ°ÚÁÒ...(Àú´Â ÀÌ·± ÅõÀÚ ¾ÈÇÕ´Ï´Ù)

3. Àڻ갡ġº¸´Ù ¼öÀÍ°¡Ä¡°¡ ¿ùµîÈ÷ ³ôÀ»¶§...-> ÀÌ È¸»ç¿¡ ¹º°¡ ÀÖ´Ù´Â ÈùÆ®ÁÒ... ±× ¹º°¡°¡ Áö¼ÓÀûÀÌ°í ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î À¯ÁöµÉ ¼ºÁúÀÇ °ÍÀ̶ó¸é... ÀÌ È¸»ç´Â °¡Ä¡°¡ ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ºÁ¾ßÇØ¿ä....

Á¦ ±âÁØÀ¸·Î ÅõÀÚÇÒ¸¸ÇÑ È¸»ç´Â 3ÀÇ °æ¿ì¹Û¿¡ ¾ø½À´Ï´Ù.

1ÀÇ °æ¿ì ÀÚ»êÁÖ¶ó´Â ²®ÁúÀÇ ½Î±¸·ÁÁÖµéÀÌ ¸¹°í...

2ÀÇ °æ¿ì...Àú´Â ÇÇ°ïÇؼ­ ±×·± ÅõÀÚ ¸øÇÏ°Ú°í...

3ÀÇ °æ¿ì.. Àú¸¦ ÇູÇÏ°Ô ÇØÁÙ ÅõÀÚó°¡ ±×·±µ¥·Î º¸ÀÔ´Ï´Ù.

 

2005-02-18 22:31[½ºÅ©·¦]ÀûÁ¤¸¶Áø(?)¿¡ ´ëÇÑ Àâ´ã... | ±â»ç ½ºÅ©·¦
±â»ç¿ø¹® : ¾ÆÀÌÅõÀÚ > ÀûÁ¤¸¶Áø(?)¿¡ ´ëÇÑ Àâ´ã...

°¡²û Àå»ç¿Í ¸¶Áø¿¡ ´ëÇØ »ý°¢Çغ¸°í´Â Çϴµ¥....

³» ÁÖÀ§¿¡ ¾î¶² »ç¶÷µéÀº...Á¦Ç° °¡°ÝÀ» ¿ø°¡°³³äÀ¸·Î¸¸ »ý°¢ÇÏ·Á°í ÇÑ´Ù.

°¡·É ¸éÀ¸·Î µÈ ¿Êº¸´Ù... °¡Á×À¸·Î µÈ ¿ÊÀÌ ´ç¿¬È÷ ºñ½Î´Ù´Â ½ÄÀÌ´Ù.

¿Ö³Ä¸é...  ±×µé¿¡°Ô´Â °¡°ÝÀÌ ¿ø°¡+a(¾ËÆÄ) ¶ó´Â ½ÄÀ¸·Î ÀÌÇصDZ⠶§¹®ÀÌ´Ù.

°¡°ÝÀÌ ¿ø°¡¿¡ ºñÇØ ¾öû ³ô´Ù¸é... ¹Ù°¡Áö ȤÀº »ç±â ¶ó°í »ý°¢ÇÏ¸ç ¿ïºÐÀ» ÅäÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. (ÇÏÁö¸¸ Çö½Ç¿¡¼­´Â À¯¸íµðÀÚÀ̳ʰ¡ ¸¸µç ¾ãÀº ¸éºê¶ó¿ì½º°¡... ºÒ½ÖÇÑ ¿©¿ì30¸¶¸® Á¤µµ·Î ¸¸µç ¸ðÇÇÄÚÆ®º¸´Ù ºñ½Ò¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.)

±Ùµ¥.. ³ª´Â ¼¼»ó¿¡´Â µÎ Á¾·ùÀÇ °¡°ÝÀÌ ÀÖ´Ù°í º»´Ù.

1.  ¿ø°¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙµÇ´Â °¡°Ý                   (¿ì¸®È¸»ç°¡ ´õ ½Î°Ô °ø±ÞÇÑ´Ù !! )

2.  °¡Ä¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙµÇ´Â °¡°ÝÀ¸·Î ¸»ÀÌ´Ù.  (¿ì¸®È¸»ç Á¦Ç°À» ¼ÒºñÀÚ°¡ ´õ ¼±È£ÇÏ¸ç ¸¸Á·À» ´À³¤´Ù!!)

(»ç½Ç ¼¼»ó¿¡´Â ÇÑ Á¾·ùÀÇ °¡°ÝÀÌ ÀÖ´Ù.  Á¦Ç°ÀÇ ½Ñ °¡°ÝÀÌ ¸¸Á·°¨À» ÁÖ´Â °æ¿ì ....½Î´Ù´Â °Í ÀÚü°¡ ¼ÒºñÀÚÀÇ needÀÌ°í ...ÀÌ°ÍÀÌ ¹Ù·Î ±â¾÷ÀÌ °í°´¿¡°Ô ÀüÇØÁÙ ¼ö ÀÖ´Â °¡Ä¡À̴ϱñ ..Áï ¸ðµç °¡°ÝÀº °¡Ä¡¿Í »ó°ü°ü°è°¡ ÀÖ´Ù. )

°¡·É ¿ø°¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙÇϴ ȸ»çÀÇ °æ¿ì ÀÌ·± ±¤°í¸¦ ÇÑ´Ù. " °æÀï»çº¸´Ù ¸î% ½Ô´Ï´Ù." ȤÀº "ÃÊÀú°¡ º¸Àå"

°¡Ä¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙÇϴ ȸ»çÀÇ °æ¿ì ´ëºÎºÐ ºê·£µå¸¦ ³»¼¼¿î´Ù. ·çÀ̺ßÅë, ±¸Âî ~

¿ø°¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙÇϴ ȸ»ç´Â ¹Ú¸®´Ù¸ÅÇüÀÌ°í

°¡Ä¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙÇϴ ȸ»ç´Â Èñ¼Ò°¡Ä¡ÇüÀε¥.. (Áï ¸¹ÀÌ Æȱâ Èûµé´Ù´Â °ÍÀÌ ¹®Á¦Àε¥...)

°¡Ä¡µµ ³ôÀ¸¸é¼­ ´ë·®À¸·Î Æȸ®´Â Á¦Ç°ÀÌ »ýÈ°¸íÇ°... Áï ÄÚÄ«Äݶó, Ä¥¼º»çÀÌ´Ù. ¸Æ½É¸ðÄ«°ñµå ... ¹¹ ÀÌ·± ³ðµéÀÎ µí ½Í´Ù. À̵éÀº ´ëºÎºÐ '½Î°í °¡Ä¡°¡ ³ô°í ´ë·®À¸·Î Æȸ°´Ù'´Â Ư¡À» °¡Áø´Ù.

°¡Ä¡ÅõÀÚÀÚµéÀÌ ´Ã»ó ÇÏ´Â ¸»Àº.. ÁÖ°¡´Â Àå±âÀûÀ¸·Î º¸¸é ±â¾÷°¡Ä¡¿¡ ¼ö·ÅÇÑ´Ù..¶ó´Â ¸»ÀÌ´Ù.

ÀÌ ¸»À» Á¦Ç°¸¶Áø¿¡ ÀÀ¿ëÇغ¸ÀÚ¸é...

¿ø°¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙµÇ´Â »óÇ°ÀÇ °¡°ÝÀº... Àå±âÀûÀ¸·Î º¸¸é (Ä¡¿­ÇÑ °æÀﶧ¹®¿¡) ¿ø°¡¿¡ ¼ö·ÅÇÏ°í...

°¡Ä¡°³³äÀ¸·Î Á¢±ÙµÇ´Â »óÇ°ÀÇ °¡°ÝÀº... Àå±âÀûÀ¸·Î º¸¸é (°æÀïÀÌ ÀÖ´Ù°í Çصµ.. µµÀúÈ÷ ´ëüµÉ ¼ö ¾ø´Â °¡Ä¡ ¶§¹®¿¡) °¡Ä¡¿¡ ¼ö·ÅÇÏ´Â °æÇâÀÌ ÀÖ´Ù°í »ý°¢ÇÑ´Ù.

±Ùµ¥... ¿ø°¡°æÀïÀº ÇÏÇ⼺ °æÀïÀÌ°í... (Áï ´©°¡ ´õ ½Î°Ô ¸¸µé¼ö ÀÖ´À³Ä...)

          °¡Ä¡°æÀïÀº »óÇ⼺ °æÀïÀÎ °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù. (Áï ´©°¡ ´õ °í°´À» ¸¸Á·½ÃÅ°´À³Ä...)

³»°¡ ...°³ÀÎÀûÀ¸·Î ÁÁ¾ÆÇÏ´Â ±â¾÷¿¡ ÅõÀÚÇÏ´Â ÀÌÀ¯°¡ ¹Ù·Î ±×°ÍÀÌ´Ù.

³»°¡ ÁÁ¾ÆÇÏ´Â ±â¾÷À̶õ... per°¡ ³·Àº ±â¾÷ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó.. ³»°Ô Å« ¸¸Á·À» ÁÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù.

¾Æ...¸Â´Ù..ÇÑ°¡Áö ÷ºÎÇÏÀÚ¸é....

ÇÒÀÎÁ¡¿¡¼­ ÆÄ´Â Èĸ®±¸¸®Çϸ鼭 °ª¸¸ ºñ½Ñ ¿ÊµéÀº....

°¡°ÝÀÌ ¿ø°¡ ÀÌÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. (³ª¶ó¸é ±×·± ¿Ê ¾È¸¸µç´Ù)

¿Ö³Ä¸é... °¡°ÝÀº °¡Ä¡¿¡ ¼ö·ÅÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.

ÇÒÀÎÁ¡Àº ±×³É ¾ÆÀú¾¾µé ¸é¹ÙÁö³ª ¸¸µé¸é ¾î¶³±î ÇÑ´Ù. -.-a

±×¸®°í ÁÖ½ÄÅõÀÚ¿¡ ´ëÇØ ÇѸ¶µð ´õ....

ÀÚ²Ù ¿ø°¡(ÁÖ°¡)¿¡ ÁýÂøÇÏ´Ï±î ½ÇÆÐÇÑ´Ù.  °¡Ä¡¿¡ ÁýÁßÇ϶ó...

°¡Ä¡°¡ ÀûÀº ¹°°ÇÀ» ºñ½Î°Ô ÁÖ¸é ½ÇÆÐÇÑ´Ù.

°¡Ä¡°¡ Å« ¹°°ÇÀ» ½Î°Ô »ç¸é ¼º°øÇÑ´Ù.

±×¸®°í ½Ñ °Í ¸¸À¸·Î´Â °í°´À» ²ø ¼ö ¾ø´Ù. ¸Å·ÂÀÖ´Â Á¦Ç°À» ½Î°Ô Æȶó... (ÁÁÀº ȸ»ç¸¦ ½Î°Ô »ç¶ó)

 

2005-02-17 01:12[½ºÅ©·¦]¹ÝµµÃ¼ Àç·á / Àåºñ ¾÷ü | ±â»ç ½ºÅ©·¦
±â»ç¿ø¹® : ¾ÆÀÌÅõÀÚ > ¹ÝµµÃ¼ Àç·á / Àåºñ ¾÷ü

¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ ÈÆdzÀÌ ºÒ°í ÀÖ´Â ½ÃÁ¡¿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¿Í Àåºñ°¡ ¾î¶»°Ô ºÐ·ù µÇ´ÂÁö¿Í

°Å·¡¼Ò/ÄÚ½º´Ú¿¡ »óÀå, µî·ÏµÈ ±â¾÷µéÀ» Çѹø ¾Ë¾Æº¼ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ÆǴܵǾî ÀڷḦ ¿Ã¸³´Ï´Ù.

 

¹ÝµµÃ¼ Àç·á¾÷ü¸¦ Å©°Ô ¼¼ºÐÇϸé ÀϹÝÀûÀ¸·Î Àü°øÁ¤Àç·á¿Í ÈÄ°øÁ¤Àç·á·Î ±¸ºÐµÈ´Ù.

Àü°øÁ¤Àç·á´Â ´Ù½Ã

±â´ÉÀç·á - ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âÆÇÀÌ µÇ´Â ¿þÀÌÆÛ - ¿Í
°øÁ¤Àç·á - ¿þÀÌÆÛ¸¦ °¡°øÇÏ¿© ĨÀ» Á¦Á¶Çϴµ¥ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀç·Î Æ÷Å丶½ºÅ©, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®,

¹ÝµµÃ¼¿ë °í¼øµµ È­°ø¾àÇ° ¹× °¡½º·ù, Æ丮Ŭ, ¹è¼±Àç·á µî - ·Î ±¸ºÐµÇ¸ç,

 

ÈÄ°øÁ¤Àç·á¿¡´Â

±¸Á¶Àç·á- ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ, º»µù¿ÍÀ̾î, ºÀÁöÀç µî - °¡ ÀÖ´Ù. 
 
¹ÝµµÃ¼Àåºñ¾÷ü¸¦ Å©°Ô ¼¼ºÐÇϸé ÀϹÝÀûÀ¸·Î Àü°øÁ¤Àåºñ ¹× ÈÄ°øÁ¤Àåºñ·Î ±¸ºÐµÇ¸ç

 

Àü°øÁ¤Àåºñ´Â ´Ù½Ã
MainÀåºñ- CVD(È­ÇÐÁõÂøÀåºñ), Asher, ½Ä°¢Àåºñ, TrackÀåºñ µî ¿Í
ÁÖº¯Àåºñ- ¼¼Á¤Àåºñ, °³½ºÄ³ºñ³Ý, Chiller, Scrubber Ŭ¸°·ë¼³ºñ, ¹ÝµµÃ¼ ¹è°ü¼³ºñ µîÀ¸·Î ±¸ºÐµÇ¸ç,

 

ÈÄ°øÁ¤Àåºñ´Â

°Ë»çÀåºñ - Test Handler, Chip Mounter, Burn-in System µî ¿Í
±âŸÀåºñ- ÆÐŰ¡ Àåºñ (¸ôµù, Æ®¸®¹Ö, Æ÷¹ÖÀåºñ), ·¹ÀÌÀú ¸¶Å·Àåºñ µîÀ¸·Î ³ª´©¾îÁø´Ù.

 

 

ÇØ´ç Á¾¸ñÀ» º¸ÀÚ.. 

 

1) °¢°¢ÀÇ ¼ÕÀÍÀº ÃßÁ¤ / ÀáÁ¤Ä¡·Î ½ÇÁ¦¿Í ´Ù¼Ò Â÷ÀÌ°¡ ³¯ ¼öµµ ÀÖÀ½..

2) ¸ÅÃâ¾×ÀÌ 100¾ï ¹Ì¸¸ÀÎ Á¾¸ñÀº Á¦¿Ü½ÃÄ×À½

3) ¹ÝµµÃ¼ Àç·á/Àåºñ´Â lcd¿Í Áߺ¹µÇ´Â ºÎºÐµµ ÀÖÀ½.¸ÅÃâºñÁßÀº Àüü ¸ÅÃâ¾×(04³â±âÁØ) ¿¡¼­

   ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¸ÅÃâºñÁßÀ» ÀǹÌ

4) ¸ÅÃâ¾×, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ, °æ»óÀÌÀÍ, ¼øÀÌÀÍÀº 04³â ±âÁØÀ̸ç Áõ°¡À²Àº Àü³â´ëºñ Áõ°¡À²À» Àǹ̠

 

 

< ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àç·á¾÷ü >

 

 

 

<±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü>

 

 

< ¿ë¾î ¼³¸í >

 

È­Çбâ»óÁõÂø(CVD : Chemical Vapor Deposition)
È­Çбâ»óÁõÂøÀ̶õ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß ¹ÝÀÀ±â ¾È¿¡ È­ÇбâüµéÀ» ÁÖÀÔÇÏ¿© È­ÇйÝÀÀ¿¡ ÀÇÇØ »ý¼ºµÈ È­ÇÕ¹°À» ¿þÀÌÆÛ¿¡ Áõ±â Âø»ó½ÃÅ°´Â °ÍÀ» ¸»Çϸç ÀÌ °úÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °í¼øµµ ¾à¾× ¶Ç´Â Ư¼ö°¡½º¸¦ È­Çбâ»óÁõÂøÀç·á¶ó ÇÑ´Ù.
ÁõÂø¹ý¿¡´Â Å©°Ô ³×°¡Áö·Î ºÐ·ùµÇ´Âµ¥ »ó¾ÐÈ­Çбâ»óÁõÂø (AP CVD : Atmospheric Pressure CVD), Àú¾Ð È­Çбâ»óÁõÂø(LP CVD : Low Pressure CVD), ¿­È­ÇÐÁõÂø °ú ÇöóÁ È­ÇÐ ÁõÂø (PE-CVD)À¸·Î ³ª´­ ¼ö ÀÖ´Ù

 

½Ä°¢Àç·á(Etchants) ¹× ¼¼Á¤Àç·á(Cleaning Chemicals)

½Ä°¢Àç·á´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ ¹× ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶°øÁ¤Àº ¹°·Ð ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼­µµ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ´Â Àç·áÀÌ´Ù. ¿ì¼± ½Ä°¢ À̶ó ÇÔÀº ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ̳ª ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ ±âÆÇ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î¸¦ Çü¼º½ÃÅ°±â°Å³ª ÇÊ¿äÇÑ ºÎÀ§¸¦ ¾ò±â À§ÇÏ¿© È­ÇоàÇ° ¹× Ư¼ö°¡½ºÀÇ È­ÇйÝÀÀÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¾ò°íÀÚÇÏ´Â ÆÐÅÏÀ» ¸¸µå´Â ÀÛ¾÷À» ½Ä°¢ À̶ó Çϸç ÀÌ·¯ÇÑ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¾àÇ°À̳ª Ư¼ö°¡½º ¹× ±âŸÀç·á¸¦  ½Ä°¢Àç·á¶ó°í ÇÑ´Ù.

¼¼Á¤À̶õ ¿þÀÌÆÛ³ª ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ Ç¥¸é¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏÀ̳ª µµ¼± ÆÐÅÏ µîÀ» Çü¼º½Ãų ¶§ ±Ý¼Ó¿À¿°¹°À̳ª ÀÔÀÚµéÀ» °¢°¢ÀÇ Á¦Á¶°øÁ¤À» ¼öÇàÇϱâ Àü¤ýÈÄ¿¡ °í¼øµµÀÇ ¾àÇ°À» »ç¿ëÇÏ¿© Á¦°Å½ÃÄÑÁÖ´Â ÀÛ¾÷À» ¼¼Á¤À̶ó ÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿¡¼­ 30 ¡­ 40% Á¤µµ°¡ ¼¼Á¤°øÁ¤ÀÌ Â÷ÁöÇÔÀ¸·Î ¼¼Á¤Àç·áÀÇ Á߿伺Àº Áö´ëÇÏ´Ù ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

Æ÷Å丶½ºÅ©

¼®¿µÀ¯¸®ÆÇ¿¡ ȸ·Î¸¦ ¹¦È­ÇÑ È¸·ÎµµÀÇ ¿øÆÇ
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(P/R) 

ȸ·Î¸¦ »çÁø Çö»óÇϱâ À§ÇÑ °¨±¤¾×
¸®µåÇÁ·¹ÀÓ 

Ĩ°ú ¿ÜºÎȸ·Î¿ÍÀÇ Á¢¼ÓÀ» À§ÇÑ ÁöÁö´ë
Etching (½Ä°¢)

Silicon Wafer¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐ¸¸À» ³²°Ü³õ°í ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» È­ÇÐ ¶Ç´Â °¡½º·Î ³ì¿©³»´Â Á¦ÀÛ°úÁ¤
Bonding

ÁÖ·Î Wire BondingÀ̶ó°í ÀÏÄþîÁö¸ç ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°ÀÇ Á¶¸³½Ã ChipÀÇ PAD¿Í ¿ÜºÎ ´ÜÀÚ¸¦ µµ¼±À¸·Î ¿¬°áÇÏ´Â ÀÛ¾÷

Chiller(Ä¥·¯) 

¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ Áß ÁÖ·Î Etching(½Ä°¢)°øÁ¤¿¡¼­ Process Chamber ³»ÀÇ ¿ÂµµÁ¶°ÇÀ» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¦¾îÇÏ´Â ¿ÂµµÁ¶ÀýÀåºñ

Asher(¿¡¼Å)

°Ç½Ä ½Ä°¢À̳ª ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ µî¿¡ ÀÇÇØ ±»¾îÁø °¨±¤¾×ÀÇ °Ç½Ä Á¦°Å(Dry Strip)¿ë ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ

Burn in System

³ôÀº ¿Âµµ(83¡É~125¡É)·Î Device¿¡ ¿­Àû ¾Ð·ÂÀ» °¡ÇÏ¿© Å×½ºÆ®ÇÏ´Â ÀåÄ¡

Capillary

Wire Bonding°øÁ¤¿¡¼­ ±Ý¼±À» ¿¬°áÇϴµ¥ »ç¿ëÇÏ´Â µµ±¸(Ball ¸ð¾çÀ» Çü¼ºÇØÁÖ°í, Wire¸¦ ²÷¾îÁִµ¥ »ç¿ë

Cascade System 

3´ÜÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Â ÀÛÀº ÆøÆ÷·Î½á ¼ø¼öÇÑ ¹°(DI Water)ÀÌ È帣¸é¼­ ¹Ù´ÚÀ¸·ÎºÎÅÍ Áú¼Ò °¡ ºÐÃâµÇµµ·Ï ÇÏ¿© Wafer¸¦ Ç󱸴 ÀåÄ¡

Gold Wire

¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÎ Die¿Í Package ´ÜÀÚ°£À» ¿¬°áÇÏ´Â ±Ý¼Ó ¼¼¼±

Slurry Supply System

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤Áß ÇϳªÀÎ CMP°øÁ¤¿¡ ½½·¯¸®¸¦ °ø±ÞÇÏ¿© ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» Ãʹ̼¼  ÆòźȭÇÏ´Â ÀåÄ¡

TRAY
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ, ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD ModuleÁ¦Ç°(Á¤¹ÐÀüÀÚ ºÎÇ°)À» ¿ÜºÎÀÇ Ãæ°ÝÀ̳ª Á¤Àü±â, ÀüÀÚÆÄ µîÀ¸·ÎºÎÅÍ ¾ÈÀüÇÏ°Ô º¸È£ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Á¦ÀÛµÈ Á¦Ç°  

Si, AI203, Quartz
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ ºÎºÐÇ°

NF3
¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD ¼¼Á¤¿ë Ư¼ö°¡½º

C.C.S.S
¹ÝµµÃ¼¿Í LCDÀü°øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ChemicalÀ» ¹è°üÀ» ÅëÇØ »ý»êÀåºñ·Î ¿ø°Ý°ø±ÞÇÏ´Â ÀÚµ¿È­ SystemÀ̸ç, ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ Á¦Ç°À¸·Î ÀÀ¿ëÀÌ °¡´É

WET SYSTEM
¹ÝµµÃ¼¿ë °¢Á¾ Cleaner ¹× LCD¿ë ¼¼Á¤ system, Glass Etching systemµîÀ¸·Î Fab°øÁ¤Áß Etching ¹× ¼¼Á¤½Ã¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Àü°øÁ¤ Àåºñ·Î¼­ ±âÁ¸¿¡´Â ÁÖ·Î ÀϺ»¿¡¼­ ¼öÀÔÇÏ¿´À¸³ª, ÃÖ±Ù ±¹»êÈ­ °³¹ß·Î ¼öÀÔ ´ëüÁßÀÎ Á¦Ç°.

RF-Genertor

¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ(Etch, CVD, µî)ÀÇ Plasma ¹ß»ý Àü¿øÀåÄ¡·Î »ç¿ë

Pellicle (¼ÒÇüÆ縮Ŭ)

¹ÝµµÃ¼Device Á¦Á¶½Ã Photolithography(³ë±¤½Ä°¢)°øÁ¤¿¡¼­ Photomask(¹ÝµµÃ¼¼³°èȸ·Îµµ)¸¦ À̹°Áú·ÎºÎÅÍ º¸È£Çϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â ºÎÇ° 

GAS SCRUBBER
¹ÝµµÃ¼¹× LCD »ý»ê¼³ºñÀÇ µ¶¼º GAS ³óµµ¸¦ ºÐÇØÇÏ¿© ¹èÃâÇÏ´Â Àåºñ·Î Air+Heating Condition¿¡ ¹ÝÀÀ, °í¿Â¿¡¼­ ºÐÇØ, 2Â÷ ºÐÇØÈÄ Powder Collector¸¦ ÅëÇØ ºÐÁøÀ» ¸ðÁý.